Micro structuring of diaphragms for III-N MEMS using short pulsed laser ablation

Počet záznamov: 1

Názov	Micro structuring of diaphragms for III-N MEMS using short pulsed laser ablation
Autor	Zehetner J.
Spoluautori	Kasemann S.
	Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ^ORCID
	Dzuba Jaroslav 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Nürnberger S.

Zdroj.dok.	ADEPT 2017 : proceedings of the 5th International Conference on Advances in Electronic and Photonic Technologies, Podbanské, High Tatras, Slovakia, June 19-22, 2017. P. 287-290. - Žilina : University of Žilina, 2017 / Lettrichová I. ; Šušlik Ľ. ; Kováč Jaroslav Jr.
Jazyk dok.	eng - angličtina
Druh dok.	rozpis článkov z periodík (rzb)
Kategória	AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách
Rok vykazovania	2017

článok

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
2017

Počet záznamov: 1