Simulation and experimental study on developed profiles in the positive polymer resist PMMA

Počet záznamov: 1

Názov	Simulation and experimental study on developed profiles in the positive polymer resist PMMA
Autor	Koleva Elena
Spoluautori	Vutova Katia
	Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV ^SCOPUS ^RID ^ORCID

Zdroj.dok.	Journal of Physics: Conference Series. Vol. 1089 (2018), art. no. 012015
Jazyk dok.	eng - angličtina
URL	URL link
Druh dok.	rozpis článkov z periodík (rbx)
Kategória	ADMB - Vedecké práce v zahraničných neimpaktovaných časopisoch registrovaných vo WOS Core Collection alebo SCOPUS
Kategória (od 2022)	V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
Typ výstupu	článok
Rok vykazovania	2018
Registrované v	SCOPUS
DOI	10.1088/1742-6596/1089/1/012015

článok

	Názov súboru	Prístup	Veľkosť	Stiahnuté	Typ	Licence
	Simulation and experimental study on developed profiles in the positive polymer resist PMMA.pdf	Prístupný	682 KB	0	Vydavateľská verzia

rok	CC	IF	IF Q (best)	JCR Av Jour IF Perc	SJR	SJR Q (best)	CiteScore
	N

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
2018	2017			0.241	Q3

Počet záznamov: 1