Počet záznamov: 1  

Simulation and experimental study on developed profiles in the positive polymer resist PMMA

  1. NázovSimulation and experimental study on developed profiles in the positive polymer resist PMMA
    Autor Koleva Elena
    Spoluautori Vutova Katia

    Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV    SCOPUS    RID    ORCID

    Zdroj.dok. Journal of Physics: Conference Series. Vol. 1089 (2018), art. no. 012015
    Jazyk dok.eng - angličtina
    URLURL link
    Druh dok.rozpis článkov z periodík (rbx)
    KategóriaADMB - Vedecké práce v zahraničných neimpaktovaných časopisoch registrovaných vo WOS Core Collection alebo SCOPUS
    Kategória (od 2022)V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
    Typ výstupučlánok
    Rok vykazovania2018
    Registrované vSCOPUS
    DOI 10.1088/1742-6596/1089/1/012015
    článok

    článok

    Názov súboruPrístupVeľkosťStiahnutéTypLicence
    Simulation and experimental study on developed profiles in the positive polymer resist PMMA.pdfPrístupný682 KB0Vydavateľská verzia
    rokCCIFIF Q (best)JCR Av Jour IF PercSJRSJR Q (best)CiteScore
    N
    rok vydaniarok metrikyIFIF Q (best)SJRSJR Q (best)
    201820170.241Q3
Počet záznamov: 1  

  Tieto stránky využívajú súbory cookies, ktoré uľahčujú ich prezeranie. Ďalšie informácie o tom ako používame cookies.