Počet záznamov: 1  

Determination of secondary-ions yield in SIMS depth profiling of Si, Mg, and C ions implanted GaN epitaxial layers

  1. NázovDetermination of secondary-ions yield in SIMS depth profiling of Si, Mg, and C ions implanted GaN epitaxial layers
    Autor Ťapajna Milan 1977 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV    ORCID
    Spoluautori Vincze A.

    Noga Pavol

    Dobrovodský Jozef

    Šagátová A.

    Hasenöhrl Stanislav 1956 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV    ORCID

    Gregušová Dagmar 1958 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV    ORCID

    Kuzmík Ján 1960 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV    ORCID

    Zdroj.dok. ASDAM 2018 : The Twelfth International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems. P. 141-144. - : IEEE, 2018 / Breza J. ; Donoval D. ; Vavrinský E. ; ASDAM 2018 The Twelfth International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Druh dok.rozpis článkov z periodík (rzb)
    OhlasySENEVIRATHNA, M.K.I. - VERNON, M. - COOKE, G.A. - CROSS, G.B. - KOZHANOV, A. - WILLIAMS, M.D. Analysis of useful ion yield for Si in GaN by secondary ion mass spectrometry. In JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B. ISSN 2166-2746, JUL 2020, vol. 38, no. 4.
    HAJEK, F. - HOSPODKOVA, A. - HUBACEK, T. - OSWALD, J. - PANGRAC, J. - DOMINEC, F. - HORESOVSKY, R. - KULDOVA, K. Depth profile of acceptor concentration in InGaN/GaN multiple quantum wells. In JOURNAL OF LUMINESCENCE. ISSN 0022-2313, AUG 2021, vol. 236.
    KategóriaAFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách
    Rok vykazovania2018
    Registrované vWOS
    Registrované vSCOPUS
    DOI 10.1109/ASDAM.2018.8544657
    článok

    článok

    rok vydaniarok metrikyIFIF Q (best)SJRSJR Q (best)
    2018
Počet záznamov: 1  

  Tieto stránky využívajú súbory cookies, ktoré uľahčujú ich prezeranie. Ďalšie informácie o tom ako používame cookies.