Effect of mask material on the side walls angle of boron doped diamond patterns etched in various types of plasma

Počet záznamov: 1

Názov	Effect of mask material on the side walls angle of boron doped diamond patterns etched in various types of plasma
Autor	Marton Marián
Spoluautori	Ritomský Mário 1993- ^SCOPUS ^RID ^ORCID
	Řeháček V.
	Michniak P.
	Behúl Miroslav
	Redhammer R.
	Vojs M.

Zdroj.dok.	MME 2018 : 29th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop : Booklet with full papers. P. 150-155. - Bratislava : Slovak University of Technology, Bratislava, 2018 / Hotový I. ; Mikolášek M. ; Predanocy Martin 1984- ; MME 2018 29th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop
Jazyk dok.	eng - angličtina
Krajina	SK - Slovenská republika
Druh dok.	rozpis článkov z periodík (rzb)
Kategória	AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách
Rok vykazovania	2018

článok

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
2018

Počet záznamov: 1