Comparison of Al and Cu masks used for patterning boron-doped diamonds in oxygen plasma

Počet záznamov: 1

Názov	Comparison of Al and Cu masks used for patterning boron-doped diamonds in oxygen plasma
Autor	Marton Marián
Spoluautori	Ritomský Mário 1993- SAVINFO - Ústav informatiky SAV ^SCOPUS ^RID ^ORCID
	Řeháček V.
	Michniak P.
	Behúl Miroslav
	Novák Patrik
	Vančo L.
	Vojs M.

Zdroj.dok.	Journal of Micromechanics and Microengineering. Vol. 29, no. 12 (2019), art. no. 124004, 9 p.
Jazyk dok.	eng - angličtina
Druh dok.	rozpis článkov z periodík (rbx)
Kategória	ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných
Kategória (od 2022)	V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
Typ výstupu	článok
Rok vykazovania	2020
Registrované v	WOS
Registrované v	SCOPUS
Registrované v	CCC
DOI	10.1088/1361-6439/ab4d6f

článok

	Názov súboru	Prístup	Veľkosť	Stiahnuté	Typ	Licence
	Comparison of Al and Cu masks used for patterning boron-doped diamonds in oxygen plasma.pdf	Prístupný	3 MB	0	Vydavateľská verzia

rok	CC	IF	IF Q (best)	JCR Av Jour IF Perc	SJR	SJR Q (best)	CiteScore
	A

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
2019	2018	2.141	Q2	0.559	Q2

Počet záznamov: 1