Study of proximity effects in HSQ e-beam resist on TiO2 thin film

Počet záznamov: 1

Názov	Study of proximity effects in HSQ e-beam resist on TiO2 thin film
Autor	Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV ^SCOPUS ^RID ^ORCID
Spoluautori	Vutova Katia
	Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV ^SCOPUS ^RID
	Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV ^SCOPUS ^RID
	Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV ^SCOPUS ^RID ^ORCID

Zdroj.dok.	ASDAM 2020 : 13th International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems. P. 65-70. - : IEEE, 2020 / Izsák Tibor ; Vanko Gabriel 1981
Jazyk dok.	eng - angličtina
Krajina	US - Spojené štáty
Druh dok.	rozpis článkov z periodík (rzb)
Kategória	ADMB - Vedecké práce v zahraničných neimpaktovaných časopisoch registrovaných vo WOS Core Collection alebo SCOPUS
Kategória (od 2022)	V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
Typ výstupu	článok
Rok vykazovania	2021
Registrované v	WOS
Registrované v	SCOPUS
DOI	10.1109/ASDAM50306.2020.9393837

článok

	Názov súboru	Prístup	Veľkosť	Stiahnuté	Typ	Licence
	Study of proximity effects in HSQ e-beam resist on TiO2 thin film.pdf	Neprístupný/archív	280 KB	0	Vydavateľská verzia

rok	CC	IF	IF Q (best)	JCR Av Jour IF Perc	SJR	SJR Q (best)	CiteScore
	N

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
2020

Počet záznamov: 1