Electrical properties of Pt/TiO2/TiN structures grown by atomic layer deposition using TTIP and water

Počet záznamov: 1

Názov	Electrical properties of Pt/TiO2/TiN structures grown by atomic layer deposition using TTIP and water
Autor	Horský Matej SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
Spoluautori	Nádaždy Peter SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Dobročka Edmund 1955 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ^ORCID
	Gregušová Dagmar 1958 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ^ORCID
	Seifertová Alena 1958 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Dérer Ján 1948 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Fedor Ján 1976 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Ščepka Tomáš 1985 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Hudec Boris SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ^ORCID

Zdroj.dok.	ASDAM 2022 : Conference Proceedings. P. 37-40. - : IEEE, 2022 / Marek Juraj ; Donoval D. ; Vavrinský E. ; International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems
Jazyk dok.	eng - angličtina
Krajina	US - Spojené štáty
Druh dok.	rozpis článkov z periodík (rzb)
Kategória	AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách
Kategória (od 2022)	V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka
Typ výstupu	príspevok z podujatia
Rok vykazovania	2022

článok

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
2022

Počet záznamov: 1