Diamond cantilevers for MEMS sensor applications fabricated by laser abiation and optimized etching techniques

Počet záznamov: 1

Názov	Diamond cantilevers for MEMS sensor applications fabricated by laser abiation and optimized etching techniques
Autor	Zehetner J.
Spoluautori	Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ^ORCID
	Izsák Tibor SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ^ORCID
	Kováčová Eva 1966 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Držík Milan
	Dohnal F.
	Kromka A.

Zdroj.dok.	ASDAM 2022 : Conference Proceedings. P. 195-198. - : IEEE, 2022 / Marek Juraj ; Donoval D. ; Vavrinský E. ; International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems
Jazyk dok.	eng - angličtina
Krajina	US - Spojené štáty
Druh dok.	rozpis článkov z periodík (rzb)
Kategória	AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách
Kategória (od 2022)	V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka
Typ výstupu	príspevok z podujatia
Rok vykazovania	2022

článok

	Názov súboru	Prístup	Veľkosť	Stiahnuté	Typ	Licence
	Diamond cantilevers for MEMS sensor applications fabricated by laser.pdf	Neprístupný/archív	1.5 MB	0	Vydavateľská verzia

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
2022

Počet záznamov: 1