Fabrication of low resistivity titanium nitride thin films by reactive magnetron sputtering at room temperature

Počet záznamov: 1

Názov	Fabrication of low resistivity titanium nitride thin films by reactive magnetron sputtering at room temperature
Autor	Ščepka Tomáš 1985 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
Spoluautori	Fedor Ján 1976 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Egyenes Fridrich SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ^ORCID
	Dobročka Edmund 1955 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ^ORCID
	Rosová Alica 1962 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ^ORCID
	Hudec Boris SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ^ORCID

Zdroj.dok.	Proceedings of 12th solid state surfaces and interfaces : Extended Abstract Book. P. non. - Bratislava : Comenius University, 2022 / Brunner Róbert 1954 ; Bačová Silvia 1975 ; Solid State Surfaces and Interfaces
Jazyk dok.	eng - angličtina
Krajina	SK - Slovenská republika
Druh dok.	rozpis článkov z periodík (rzb)
Kategória	AFH - Abstrakty príspevkov z domácich konferencií
Kategória (od 2022)	V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka
Typ výstupu	abstrakt z podujatia
Rok vykazovania	2022

článok

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
2022

Počet záznamov: 1