Structuring of titanium nitride films by dry reactive ion etching

Počet záznamov: 1

Názov	Structuring of titanium nitride films by dry reactive ion etching
Autor	Izsák Tibor SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ^ORCID
Spoluautori	Ščepka Tomáš 1985 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ^ORCID
	Fedor Ján 1976 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Romanyuk O.
	Hudec Boris SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ^ORCID

Zdroj.dok.	Proceedings of ADEPT 2023 : 11th International Conference on Advances in Electronic and Photonic Technologies, held in Podbanské, High Tatras, Slovakia, June 12th – 15th, 2023. P. 150-153. - Žilina : University of Zilina in EDIS-Publishing Centre of UZ, 2023 / Jandura D. ; Lettrichová I. ; Kováč J., jr.
Jazyk dok.	eng - angličtina
Krajina	SK - Slovenská republika
Druh dok.	rozpis článkov z periodík (rzb)
Kategória	AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách
Kategória (od 2022)	V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka
Typ výstupu	príspevok z podujatia
Rok vykazovania	2023

článok

	Názov súboru	Prístup	Veľkosť	Stiahnuté	Typ	Licence
	Structuring of titanium nitride films by dry reactive ion etching.pdf	Prístupný	428.4 KB	0	Vydavateľská verzia

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
2023

Počet záznamov: 1