Počet záznamov: 1  

Placement measurement and FE modeling results for distortion control of stencil masks

  1. NázovPlacement measurement and FE modeling results for distortion control of stencil masks
    Autor Ehrmann A.
    Spoluautori Kaesmaier R.

    Kragler K.

    Struck T.

    Haugender E.

    Loschner H.

    Lutz J.

    Butschke J.

    Letzkus F.

    Springer R.

    Držík Milan SAVSTAV - Ústav stavebníctva a architektúry SAV

    Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV    SCOPUS    RID

    Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV    SCOPUS    RID    ORCID

    Degen A.

    Shi F.

    Volland B.

    Sossna E.

    Rangelow I.W.

    Engelstad R.L.

    Zdroj.dok. 19th Annual BACUS Symposium on Photomask Technology and Management : Proceedings. - CA, USA, 1999
    Jazyk dok.eng - angličtina
    KrajinaUS - Spojené štáty
    Druh dok.rozpis článkov z periodík (rzb)
    KategóriaAFC - Publikované príspevky na zahraničných vedeckých konferenciách
    Rok vykazovania1999
    Registrované vWOS
    Registrované vSCOPUS
    článok

    článok

    rok vydaniarok metrikyIFIF Q (best)SJRSJR Q (best)
    0
Počet záznamov: 1  

  Tieto stránky využívajú súbory cookies, ktoré uľahčujú ich prezeranie. Ďalšie informácie o tom ako používame cookies.