Počet záznamov: 1  

On ultra-thin oxide/Si and very-thin oxide/Si structures prepared by wet chemical process

  1. NázovOn ultra-thin oxide/Si and very-thin oxide/Si structures prepared by wet chemical process
    Autor Pinčík Emil 1956 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV    ORCID
    Spoluautori Kobayashi H.

    Rusnák Jaroslav 1958 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV    ORCID

    Kim W.B.

    Brunner Róbert 1954 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV

    Malinovský Ľudovít 1956 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV

    Matsumoto T.

    Imamura K.

    Jergel Matej 1954- SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV    SCOPUS    RID    ORCID

    Takahashi M.

    Higashi Y.

    Kučera Michal 1956 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV    ORCID

    Mikula M.

    Zdroj.dok. Applied Surface Science. Vol. 256, no. 19 (2010), p. 5757-5764
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Druh dok.rozpis článkov z periodík (rbx)
    OhlasyANGERMANN, H. - GREF, O. - STEGEMANN, B. Effect of wet-chemical substrate smoothing on passivation of ultrathin-SiO2/n-Si(111) interfaces prepared with atomic oxygen at thermal impact energies. In Central European Journal of Physics, 2011, vol.9, no.6, 1472-1481.
    BORDIHN, S. - ENGELHART, P. - MERTENS, V. - KESSER, G. - KÖHN, D. - DINGEMANS, G. - MANDOC, M.M. - MÜLLER, J.W. - KESSELS, W.M.M. High surface passivation quality and thermal stability of ALD Al 2O3 on wet chemical grown ultra-thin SiO2 on silicon. In Energy Procedia, 2011, vol.8, 654-659.
    ANGERMANN, H. - WOLKE, K. - GOTTSCHALK, C. - MOLDOVAN, A. - ROCZEN, M. - FITTKAU, J. - ZIMMER, M. - RENTSCH, J. Electronic interface properties of silicon substrates after ozone based wet-chemical oxidation studied by SPV measurements. In APPLIED SURFACE SCIENCE. AUG 15 2012, vol. 258, no. 21, p. 8387-8396.
    ANGERMANN, H. Conditioning of Si-interfaces by wet-chemical oxidation: Electronic interface properties study by surface photovoltage measurements. In APPLIED SURFACE SCIENCE. SEP 1 2014, vol. 312, p. 3-16.
    KategóriaADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných
    Kategória (od 2022)V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
    Typ výstupučlánok
    Rok vykazovania2010
    Registrované vWOS
    Registrované vSCOPUS
    Registrované vCCC
    DOI 10.1016/j.apsusc.2010.03.096
    článok

    článok

    rokCCIFIF Q (best)JCR Av Jour IF PercSJRSJR Q (best)CiteScore
    A
    rok vydaniarok metrikyIFIF Q (best)SJRSJR Q (best)
    201020091.616Q20.840Q1
Počet záznamov: 1  

  Tieto stránky využívajú súbory cookies, ktoré uľahčujú ich prezeranie. Ďalšie informácie o tom ako používame cookies.