Processing technology of MEMS sensors using III-N material system

Počet záznamov: 1

Názov	Processing technology of MEMS sensors using III-N material system
Autor	Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ^ORCID
Spoluautori	Dzuba Jaroslav 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Rýger Ivan 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Vojs M.
	Vincze A.
	Dobročka Edmund 1955 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ^ORCID

Zdroj.dok.	/ Michalka M. ; Vincze A. ; Veselý M. 17. škola vákuovej techniky : analýza materiálov vo vákuu. Material analysis in vacuum. P. 39-43. - Bratislava : FEI STU, 2014
Jazyk dok.	slo - slovenčina
Druh dok.	rozpis článkov z periodík (rzb)
Kategória	AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách
Rok vykazovania	2014

článok

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
2014

Počet záznamov: 1