Počet záznamov: 1
Cifrovoj interferometr dlja izmerenija ploskostnosti poluprovodnikovych šajb
Názov Cifrovoj interferometr dlja izmerenija ploskostnosti poluprovodnikovych šajb Autor Nyársik Ľ. SAVMER - Ústav merania SAV Spoluautori Burdík Karel 1958-2010 SAVMER - Ústav merania SAV Keppert Miroslav 1950 SAVMER - Ústav merania SAV SCOPUS RID Zdroj.dok. . S. 195-198 MICROELECTRONICS '90 : 7. meždunarodnaja konferencija po mikroelektronike. - Minsk : AN SSSR, 1990 Jazyk dok. rus - ruština Krajina SU Druh dok. rozpis článkov z periodík (rzb) Systemat. 681.782.44 Heslá hranolový planinterferometer * digitálna interferometria * výskum základný Kategória AEE - Vedecké práce v zahraničných nerecenzovaných vedeckých zborníkoch (aj konferenčných), monografiách Kategória (od 2022) O2 - Odborný výstup publikačnej činnosti ako časť knižnej publikácie alebo zborníka Typ výstupu príspevok Rok vykazovania 1991 článok
rok vydania rok metriky IF IF Q (best) SJR SJR Q (best) 1990
Počet záznamov: 1