Počet záznamov: 1  

New results of low temperature PECVD amorphous silicon carbide

  1. NázovNew results of low temperature PECVD amorphous silicon carbide
    Autor Huran Jozef 1955 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV    ORCID
    Spoluautori Hotový I.

    Kobzev A.P.

    Balalykin Nikolay I.

    Zdroj.dok. . P. 123-126 ASDAM 2004 : conference proceeding of the Fifth International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems. Smolenice Castle, Slovakia October 17-21, 2004. - Piscataway : IEEE, 2004 / Osvald Jozef 1953 ; Haščík Štefan 1956
    Jazyk dok.eng - angličtina
    KrajinaUS - Spojené štáty
    Druh dok.rozpis článkov z periodík (rzb)
    KategóriaAEC - Vedecké práce v zahraničných recenzovaných vedeckých zborníkoch (aj konferenčných), monografiách
    Kategória (od 2022)V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka
    Typ výstupupríspevok
    Rok vykazovania2004
    článok

    článok

    rok vydaniarok metrikyIFIF Q (best)SJRSJR Q (best)
    2004
Počet záznamov: 1  

  Tieto stránky využívajú súbory cookies, ktoré uľahčujú ich prezeranie. Ďalšie informácie o tom ako používame cookies.