Study of electron beam resists: negative tone HSQ and positive tone SML300

Počet záznamov: 1

Názov	Study of electron beam resists: negative tone HSQ and positive tone SML300
Autor	Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV ^SCOPUS ^RID ^ORCID
Spoluautori	Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV ^SCOPUS ^RID
	Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV ^SCOPUS ^RID
	Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV ^SCOPUS ^RID
	Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV ^SCOPUS ^RID
	Koleva Elena
	Vutova Katia
	Mladenov Georgy

Zdroj.dok.	Elektrotechnika i elektronika E+E : Eleventh International Conference on Electron Beam Technologies. Vol. 49 (2014) no. 5-6
Jazyk dok.	eng - angličtina
Krajina	BG - Bulharsko
Druh dok.	rozpis článkov z periodík (rbx)
Kategória	ADEB - Vedecké práce v ostatných zahraničných časopisoch neimpaktovaných
Kategória (od 2022)	V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
Typ výstupu	článok
Rok vykazovania	2014

článok

rok	CC	IF	IF Q (best)	JCR Av Jour IF Perc	SJR	SJR Q (best)	CiteScore
	N

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
2014

Počet záznamov: 1