Resist characteristics simulation of HSQ electron beam resist

Počet záznamov: 1

Názov	Resist characteristics simulation of HSQ electron beam resist
Autor	Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV ^SCOPUS ^RID
Spoluautori	Vutova Katia
	Koleva Elena
	Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV ^SCOPUS ^RID ^ORCID
	Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV ^SCOPUS ^RID
	Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV ^SCOPUS ^RID
	Mladenov Georgy

Zdroj.dok.	Electrotechnica & electronica E+E. Vol. 51, no. 5-6 (2016), p. 246-250
Jazyk dok.	eng - angličtina
Krajina	BG - Bulharsko
Poznámky	Twelfth International Conference on Electron Beam Technologies (EBT 2016), 13-18 June 2016, Varna, Bulgaria
Druh dok.	rozpis článkov z periodík (rbx)
Kategória	ADEB - Vedecké práce v ostatných zahraničných časopisoch neimpaktovaných
Kategória (od 2022)	V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
Typ výstupu	článok
Rok vykazovania	2016

článok

rok	CC	IF	IF Q (best)	JCR Av Jour IF Perc	SJR	SJR Q (best)	CiteScore
	N

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
2016

Počet záznamov: 1