Počet záznamov: 1
Limitations of variable shaped electron beam lithography for advanced research and semiconductor applications
Názov Limitations of variable shaped electron beam lithography for advanced research and semiconductor applications Autor Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV SCOPUS RID ORCID Spoluautori Vutova Katia Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV SCOPUS RID Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV SCOPUS RID Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV SCOPUS RID ORCID Zdroj.dok. Proceedings of the International Spring Seminar on Electronics Technology. (2017), art. no. 8000969. - : IEEE Computer Society Jazyk dok. eng - angličtina Krajina BG - Bulharsko Druh dok. rozpis článkov z periodík (rzb) Ohlasy BRACKMANN, Varvara - FRIEDRICH, Michael - BROWNING, Clyde - HANISCH, Norbert - UHLIG, Benjamin. Influence of the dose assignment and fracturing type on patterns exposed by a variable shaped e-beam writer: simulation vs experiment. In 35TH EUROPEAN MASK AND LITHOGRAPHY CONFERENCE (EMLC 2019). ISSN 0277-786X, 2019, vol. 11177, no., pp. HART’ANSKÝ, R. - HRICKO, J. - MIERKA, M. - HALGOŠ, J. - DZURIŠ, M. MEMS sensor of force. In Russian Journal of Nonlinear Dynamics. ISSN 26585324, 2020-01-01, 16, 1, pp. 85-92. Dostupné na: https://doi.org/10.20537/nd200107. PAJOROVA, Eva - HLUCHY, Ladislav. 3D SEM Based Functional Nanostructure for Medical Imaging. In ADVANCES IN HUMAN FACTORS AND ERGONOMICS IN HEALTHCARE AND MEDICAL DEVICES (AHFE 2021), 2021, vol. 263, no., pp. 173-179. ISSN 2367-3370. Dostupné na: https://doi.org/10.1007/978-3-030-80744-3_22. Kategória ADMB - Vedecké práce v zahraničných neimpaktovaných časopisoch registrovaných vo WOS Core Collection alebo SCOPUS Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2017 Registrované v WOS Registrované v SCOPUS DOI 10.1109/ISSE.2017.8000969 
článok
rok CC IF IF Q (best) JCR Av Jour IF Perc SJR SJR Q (best) CiteScore N rok vydania rok metriky IF IF Q (best) SJR SJR Q (best) 2017
Počet záznamov: 1