Počet záznamov: 1  

Atomic layer deposition of lithium metaphosphate from H3PO4 and P4O10 facilitated via direct liquid injection: Experiment and theory

  1. NázovAtomic layer deposition of lithium metaphosphate from H3PO4 and P4O10 facilitated via direct liquid injection: Experiment and theory
    Autor Kundrata Ivan SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
    Spoluautori Mošková Antónia 1958 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV

    Moško Martin 1958 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV    ORCID

    Mičušík Matej 1977- SAVPOLYM - Ústav polymérov SAV    ORCID

    Dobročka Edmund 1955 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV    ORCID

    Fröhlich Karol 1954 SAVELEK ; SAVCEMEA - Elektrotechnický ústav SAV    ORCID

    Zdroj.dok. Journal of Vacuum Science and Technology A. Vol. 39 (2021), no. 062407
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Druh dok.rozpis článkov z periodík (rbx)
    OhlasyWEBER, M. - BOYSEN, N. - GRANIEL, O. - SEKKAT, A. - DUSSARRAT, C. - WIFF, P. - DEVI, A. - MUñOZ-ROJAS, D. Assessing the Environmental Impact of Atomic Layer Deposition (ALD) Processes and Pathways to Lower It. In ACS MATERIALS AU. ISSN 2694-2461, APR 27 2023, vol. 3, no. 4, p. 274-298. Dostupné na: https://doi.org/10.1021/acsmaterialsau.3c00002.
    KategóriaADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných
    Kategória (od 2022)V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
    Typ výstupučlánok
    Rok vykazovania2021
    Registrované vWOS
    Registrované vSCOPUS
    Registrované vCCC
    DOI 10.1116/6.0001255
    článok

    článok

    rokCCIFIF Q (best)JCR Av Jour IF PercSJRSJR Q (best)CiteScore
    A
    rok vydaniarok metrikyIFIF Q (best)SJRSJR Q (best)
    202120202.427Q30.583Q2
Počet záznamov: 1  

  Tieto stránky využívajú súbory cookies, ktoré uľahčujú ich prezeranie. Ďalšie informácie o tom ako používame cookies.