Výsledky vyhľadávania
Názov Comparison of Al and Cu masks used for patterning boron-doped diamonds in oxygen plasma Autor Marton Marián Spoluautori Ritomský Mário 1993- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Řeháček V. Michniak P. Behúl Miroslav Novák Patrik Vančo L. Vojs M. Zdroj.dok. Journal of Micromechanics and Microengineering. Vol. 29, no. 12 (2019), art. no. 124004, 9 p. Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2020 DOI 10.1088/1361-6439/ab4d6f Názov súboru Prístup Veľkosť Stiahnuté Typ Licence Comparison of Al and Cu masks used for patterning boron-doped diamonds in oxygen plasma.pdf Prístupný 3 MB 0 Vydavateľská verzia 
článok
Názov Study of self-masking nanostructuring of boron doped diamond films by RF plasma etching Autor Marton Marián Spoluautori Ritomský Mário 1993- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Michniak P. Behúl Miroslav Řeháček V. Redhammer R. Vincze A. Papula Martin Vojs M. Korp. 17th Joint Vacuum Conference. JVC : Olomouc, Czech Republic : September 10-14, 2018 Zdroj.dok. Vacuum. Vol. 170 (2019), art. no. 108954 Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2020 DOI 10.1016/j.vacuum.2019.108954 Názov súboru Prístup Veľkosť Stiahnuté Typ Licence Study of self-masking nanostructuring of boron doped diamond films by RF plasma etching.pdf Prístupný 5.2 MB 2 Vydavateľská verzia článok
Názov Effect of mask material on the side walls angle of boron doped diamond patterns etched in various types of plasma Autor Marton Marián Spoluautori Ritomský Mário 1993- Řeháček V. Michniak P. Behúl Miroslav Redhammer R. Vojs M. Akcia MME 2018. 29th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop : 26-29 August 2018 : Smolenice, Slovakia Zdroj.dok. MME 2018 : 29th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop : Booklet with full papers. P. 150-155. - Bratislava : Slovak University of Technology, Bratislava, 2018 / Hotový I. ; Mikolášek M. ; Predanocy Martin 1984- ; MME 2018 29th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop Kategória AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Rok vykazovania 2018 článok