Výsledky vyhľadávania
Názov Laser ablation for membrane processing of AlGaN/GaN- and micro structured ferroelectric thin film MEMS and SiC pressure sensors for extreme conditions Autor Zehetner J. Spoluautori Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Dzuba Jaroslav 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Rýger Ivan 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Benkler M. Lucki M. Zdroj.dok. Proceedings of the SPIE. Vol. 9517, (2015), 951721 Kategória ADMB - Vedecké práce v zahraničných neimpaktovaných časopisoch registrovaných vo WOS Core Collection alebo SCOPUS Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2015 DOI 10.1117/12.2179041