Výsledky vyhľadávania
Názov Experimental results of the stochastic coulomb interaction in ion projection lithography. Autor Jager W.H. Spoluautori Derksen G. Mertens B. Cekan E. Lammer G. Vonach H. Buschbeck H. Zeininger M. Horner C. Loeschner Hans Stengl G. Bleeker A. Benschop J. Shi F. Volland B. Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Heerlein H. Rangelow I.W. Kaesmaier R. Zdroj.dok. Journal of Vacuum Science Technology B. Vol. 17, no. 6 (1999), p. 3099-3106 Kategória ADC Rok vykazovania 1999 
článok