Výsledky vyhľadávania
Názov Modeling approaches for electron beam lithography Autor Koleva Elena Spoluautori Vutova Katia Asparuhova Boriana Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Cvetkov K. Gerasimov V. Korp. EBT 2018. 13th International Conference on Electron Beam Technologies : Varna, Bulgaria : June 18-22, 2018 Zdroj.dok. Journal of Physics: Conference Series. Vol. 1089 (2018), art. no. 012016 Kategória ADMB - Vedecké práce v zahraničných neimpaktovaných časopisoch registrovaných vo WOS Core Collection alebo SCOPUS Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2018 DOI 10.1088/1742-6596/1089/1/012016 URL URL link Názov súboru Prístup Veľkosť Stiahnuté Typ Licence Modeling approaches for electron beam lithography.pdf Prístupný 809.7 KB 0 Vydavateľská verzia 
článok
Názov Simulation and experimental study on developed profiles in the positive polymer resist PMMA Autor Koleva Elena Spoluautori Vutova Katia Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Korp. EBT 2018. 13th International Conference on Electron Beam Technologies : Varna, Bulgaria : June 18-22, 2018 Zdroj.dok. Journal of Physics: Conference Series. Vol. 1089 (2018), art. no. 012015 Kategória ADMB - Vedecké práce v zahraničných neimpaktovaných časopisoch registrovaných vo WOS Core Collection alebo SCOPUS Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2018 DOI 10.1088/1742-6596/1089/1/012015 URL URL link Názov súboru Prístup Veľkosť Stiahnuté Typ Licence Simulation and experimental study on developed profiles in the positive polymer resist PMMA.pdf Prístupný 682 KB 0 Vydavateľská verzia článok