Výsledky vyhľadávania

Nájdených záznamov: 4  
Váš dotaz: Autor-kód záznamu = "^sav_un_auth 0001879^"
  1. NázovMechanical characterization of membrane like microelectronic component
    Autor Držík Milan SAVSTAV - Ústav stavebníctva a architektúry SAV
    Spoluautori Löschner H.
    Haugeneder E.
    Fallmann W.
    Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Rangelow I.W.
    Sarov Y.
    Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
    Chlpík J.
    Zdroj.dok. Microelectronic Engineering. Vol. 83, (2006), p. 1036-1042. - Amsterdam : Elsevier Science Publishers
    KategóriaADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných
    Kategória (od 2022)V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
    Typ výstupučlánok
    Rok vykazovania2006
    DOI 10.1016/j.mee.2006.01.020
    článok

    článok

  2. NázovMinimum ion bean exposure dose determination for chemically amplified resist from printed dot matrices
    Autor Bruenger W.H.
    Spoluautori Torkler M.
    Weiss M.
    Loeschner Hans
    Leung K.
    Lee Y.
    Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Rangelow I.W.
    Stangl Guenther
    Fallmann W.
    Zdroj.dok. Journal of Vacuum Science and Technology B. Vol. 17, no. 6 (1999), p. 3119-3121
    KategóriaADC
    Rok vykazovania1999
    článok

    článok

  3. NázovPatterning of monolayers of crystalline S-layer proteins on a silicon surface by deep ultraviolet radiation
    Autor Pum D.
    Spoluautori Stangl Guenther
    Sponer C.
    Riedling K.
    Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Fallmann W.
    Sleytr U.B.
    Zdroj.dok. Microelectronic Engineering : an international journal of semiconductor manufacturing technology. Vol. 35, no. 1-4 (1997), p. 297-300
    KategóriaADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných
    Kategória (od 2022)V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
    Typ výstupučlánok
    Rok vykazovania1997
    článok

    článok

  4. NázovDevelopment of optical techniques for thin membrane stress measurement
    Autor Držík Milan SAVSTAV - Ústav stavebníctva a architektúry SAV
    Spoluautori Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Fallmann W.
    Haugender E.
    Butschke J.
    Löschner H.
    Akcia 12th Micromechanics Europe Workshop. MME 2001 : September 16-18, 2001 : Cork
    Zdroj.dok. 12th Micromechanics Europe Workshop : MME 2001. Proceedings. - Cork : Ireland's ICT Research Centre, 2001
    KategóriaAFC - Publikované príspevky na zahraničných vedeckých konferenciách
    Rok vykazovania2001
    článok

    článok



  Tieto stránky využívajú súbory cookies, ktoré uľahčujú ich prezeranie. Ďalšie informácie o tom ako používame cookies.