Výsledky vyhľadávania
Názov Nanostructuring of Mo/Si multilayers by means of reactive ion etching using a three-level mask Autor Dreeskornfeld L. Spoluautori Haindl G. Kleineberg U. Heinzmann U. Shi F. Volland B. Rangelow I.W. Majková Eva 1950 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Luby Štefan 1941 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Kostič Ivan SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hsin-Yi Lee Zdroj.dok. Thin Solid Films. Vol. 458 ( 2004 ), p. 227-232 Kategória ADC Rok vykazovania 2004 DOI 10.1016/j.tsf.2003.09.070 
článok
Názov Effect of substrate heating and ion beam polishing on the interface quality in Mo/Si multilayers- X-ray comparative study Autor Anopchenko A.S. SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Spoluautori Jergel Matej 1954- SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Majková Eva 1950 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Luby Štefan 1941 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Holý V. Aschentrup A. Kolina I. Cheon Lim Y. Haindl G. Kleineberg U. Heinzmann U. Zdroj.dok. Physica B : condensed matter. Vol. 305, no. 1 (2001), p. 14-20 Kategória ADC Rok vykazovania 2001 článok
Názov Reactive ion etching with end point detection of microstructured Mo/Si multilayers by optical emission spectroscopy Autor Dreeskornfeld L. Spoluautori Segler R. Haindl G. Wehmeyer O. Rahn S. Majková Eva 1950 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Kleineberg U. Heinzmann U. Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. Microelectronic Engineering. Vol. 54, no. 3-4 (2000), p. 303-314 Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2000 DOI 10.1016/S0167-9317(99)00449-9 článok
Názov Nanopatterning of Au absorber films on MO/Si EUV multilayer mirrors by STM lithography in self-assembled monolayer Autor Sundermann M. Spoluautori Hartwich J. Rott K. Meyners D. Majková Eva 1950 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Kleineberg U. Grunze M. Heinzmann U. Zdroj.dok. Surface Science. Vol. 454, no. 1 (2000), p. 1104-1109 Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2000 článok
Názov Metal oxide/silicon oxide multilayer with smooth interfaces produced by in situ controlled plasma-enhanced MOCVD Autor Hamelmann F. Spoluautori Haindl G. Schmalhorst J. Aschentrup A. Majková Eva 1950 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Kleineberg U. Heinzmann U. Klipp A. Jutzi P. Anopchenko A.S. SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Jergel Matej 1954- SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Luby Štefan 1941 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Zdroj.dok. Thin Solid Films. Vol. 358 (2000), p. 90-93 Kategória ADC Rok vykazovania 2000 DOI 10.1016/S0040-6090(99)00695-1 článok
Názov Effect of Ion-Beam Polishing on the Interface Quality in a Ti/C Multilayer Mirror for "Water Window" Autor Jergel Matej 1954- SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Spoluautori Holý V. Majková Eva 1950 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Luby Štefan 1941 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Senderák Rudolf 1953 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Stock H.J. Menke D. Kleineberg U. Heinzmann U. Zdroj.dok. Materials Science Forum. Vol. 321-324 (2000), p. 184-190 Kategória ADC Rok vykazovania 2000 článok