Výsledky vyhľadávania
Názov Zariadenie na rovnomerné opracovanie povrchu sypkých materiálov v plazme : Patentová listina. Číslo dokumentu: 288857. Číslo prihlášky: 50071-2018. Dátum podania prihlášky: 18.12. 2018. Dátum zverejnenia prihlášky: 1.7. 2020. Vestník ÚPV SR č.: 07/2020. Dátum oznámenia o udelení patentu: 12.5. 2021. Vestník ÚPV SR č.: 09/2021. Dátum sprístupnenia patentu verejnosti: 12.4. 2021. Druh dokumentu: B6. Int. Cl.(2021.01): B01J 19/00, H01J 37/00, H05H 1/00, B65G 33/00. Majiteľ: Ústav informatiky SAV, Bratislava; Ústav polymérov SAV, Bratislava; Elektrotechnický ústav SAV, Bratislava. Zástupca: Gróf Martin, Bratislava Autor Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Čaplovič Igor 1948 SAVINFO - Ústav informatiky SAV Novák Igor 1951- SAVPOLYM - Ústav polymérov SAV Gaži Štefan 1948 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Vyd.údaje Banská Bystrica : Úrad priemyselného vlastníctva , 2021. - patentový spis č. 288857 B6, 6 s. Kategória AGJ - Patentové prihlášky, prihlášky úžitkových vzorov, dizajnov, ochranných známok,... Rok vykazovania 2021 
kniha
Názov Ethical challenges in nanometrology Autor Luby Štefan 1941 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Spoluautori Lubyová Martina 1967 - SAVPROG - Prognostický ústav SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. Communications. Vol. 20, no. 1 (2018), p. 131 - 136 Kategória ADNB - Vedecké práce v domácich neimpaktovaných časopisoch registrovaných vo WOS Core Collection alebo SCOPUS Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2018 
článok
Názov Silicon substrates for nanoparticle gas sensors with embedded electrodes and planar surface Autor Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hofbauerová Monika Benkovičová 1985 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Kotlár Mário 1976 Luby Štefan 1941 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Zdroj.dok. AIP Conference Proceedings : Applied Physics of Condensed Matter (APCOM 2018). Vol. 1996 (2018), no. 020018 Kategória ADMB - Vedecké práce v zahraničných neimpaktovaných časopisoch registrovaných vo WOS Core Collection alebo SCOPUS Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2018 DOI 10.1063/1.5048870 článok
Názov Study of the new CSAR62 positive tone electron-beam resist at 40 keV electron energy Autor Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Vutova Katia Koleva Elena Nemec Pavel SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Mladenov Georgy Zdroj.dok. Journal of Physics: Conference Series. Vol. 700 (2016), art. no. 012030 Kategória ADMB - Vedecké práce v zahraničných neimpaktovaných časopisoch registrovaných vo WOS Core Collection alebo SCOPUS Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2016 DOI 10.1088/1742-6596/700/1/012030 Názov súboru Prístup Veľkosť Stiahnuté Typ Licence Study of the new CSAR62 positive tone electron-beam resist at 40 keV electron energy.pdf Prístupný 1.8 MB 4 Vydavateľská verzia článok
Názov RIE plasma etching of GaAs in SiCl4 and CCl4 gases with different resists as etch masks Autor Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Haščík Štefan 1956 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Zdroj.dok. / Vajda J. ; Jamnický I. Proceedings of the 20th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter : APCOM 2014. P. 312-315. - Bratislava : FEI STU, 2014 ; International Conference on Applied Physics of Condensed Matter APCOM 2014 Kategória AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Rok vykazovania 2014 článok
Názov Photosensitive AZ 5214E resist used for e-beam lithography applications Autor Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Škriniarová Jaroslava Haščík Štefan 1956 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Zdroj.dok. / Vajda J. ; Jamnický I. Proceedings of the 19th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter : APCOM 2013. P. 50-53. - Bratislava : Nakladateľstvo STU Bratislava, 2013 ; International Conference on Applied Physics of Condensed Matter APCOM 2013 Kategória AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Rok vykazovania 2013 článok
Názov Application of direct write variable shape e-beam lithography Autor Jablonská Viera 1965- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Čaplovič Igor 1948 SAVINFO - Ústav informatiky SAV Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. / Bardošová Mária 13th European Conference on Organised Films : ECOF 13. P. P35. - Cork : Tyndall National Institute UCC, 2013 ; European Conference on Organised Films ECOF 13 Kategória BFA - Abstrakty odborných prác zo zahraničných podujatí (konferencie...) Rok vykazovania 2013 článok
Názov Suitability of N2 plasma for the RIE etching of thin Ag layers Autor Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Haščík Štefan 1956 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. / Vajda J. ; Jamnický I. Proceedings of the 19th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter : APCOM 2013. P. 54-57. - Bratislava : Nakladateľstvo STU Bratislava, 2013 ; International Conference on Applied Physics of Condensed Matter APCOM 2013 Kategória AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Rok vykazovania 2013 článok
Názov The AZ 5214E resist in EBDW lithography and its use as a RIE etch-mask in etching thin Ag layers in N2 plasma Autor Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Škriniarová Jaroslava Zdroj.dok. Journal of Electrical Engineering. Vol. 64, no. 6 (2013), p. 371-375 Kategória ADNA - Vedecké práce v domácich impaktovaných časopisoch registrovaných vo WOS Core Collection alebo SCOPUS Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2013 DOI 10.2478/jee-2013-0056 článok
Názov Nanoštruktúry pre vývoj obvodov a senzorov : príprava nanoštruktúr metódou elektrónovej litografie Preklad názvu Nanostructures for the development of circuits and sensors : preparation of nanostructure by e-beam lithography Autor Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Čaplovič Igor 1948 SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Jablonská Viera 1965- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Považan Ivo 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. / Hluchý Ladislav 1952- ; Kozák Štefan ; Budinská Ivana 1964- Informačné technológie na predvídanie a riešenie krízových situácií : seminár. 7 p.. - Bratislava : Ústav informatiky SAV, 2012 ; Seminár Informačné technológie na predvídanie a riešenie krízových situácií Kategória AFDB - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Rok vykazovania 2012 článok