Výsledky vyhľadávania

Nájdených záznamov: 95  
Váš dotaz: Autor-kód záznamu = "^sav_un_auth 0001131^"
  1. NázovBulk micromachining of SiC substrate for MEMS sensor applications
    Autor Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
    Spoluautori Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Zehetner J.
    Dzuba Jaroslav 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
    Choleva P.
    Kutiš V.
    Vallo Martin SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
    Rýger Ivan 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
    Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
    Zdroj.dok. Microelectronic Engineering. Vol. 110, (2013), p. 260-264
    KategóriaADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných
    Kategória (od 2022)V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
    Typ výstupučlánok
    Rok vykazovania2013
    DOI 10.1016/j.mee.2013.01.046
    článok

    článok

  2. NázovMicromachined atomic force microscopy sensor with integrated piezoresistive, sensor and thermal bimorph actuator for high-speed tapping-mode atomic force microscopy phase-imaging in higher eigenmodes
    Autor Pedrak R.
    Spoluautori Ivanov T.
    Ivanova K.
    Gotszalk T.
    Abedinov N.
    Rangelow I.W.
    Edinger K.
    Tomerov E.
    Schenkel T.
    Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Zdroj.dok. Journal of Vacuum Science and Technology B. Vol. 21, no. 6 (2013), p. 3102-3107, Microelectronics and Nanometer Structures
    KategóriaADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných
    Kategória (od 2022)V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
    Typ výstupučlánok
    Rok vykazovania2003
    DOI 10.1116/1.1614252
    článok

    článok

  3. NázovMEMS pressure sensor fabricated by advanced bulk micromachining techniques
    Autor Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
    Spoluautori Hudek Peter 1953-
    Zehetner J.
    Dzuba Jaroslav 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
    Choleva P.
    Vallo Martin SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
    Rýger Ivan 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
    Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
    Zdroj.dok. Proceedings of the SPIE. Vol. 8763, (2013), p. 8763-101
    KategóriaADMB - Vedecké práce v zahraničných neimpaktovaných časopisoch registrovaných vo WOS Core Collection alebo SCOPUS
    Kategória (od 2022)V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
    Typ výstupučlánok
    Rok vykazovania2013
    DOI 10.1117/12.2017499
    článok

    článok

  4. NázovMicromachined membrane structures for pressure sensors based on AlGaN/GaN circular HEMT sensing device
    Autor Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
    Spoluautori Hudek Peter 1953-
    Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
    Dzuba Jaroslav 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
    Kutiš V.
    Srnánek R.
    Choleva P.
    Vallo Martin SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
    Držík Milan
    Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Zdroj.dok. Microelectronic Engineering : an international journal of semiconductor manufacturing technology. Vol. 98, (2012), p. 578-581
    KategóriaADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných
    Kategória (od 2022)V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
    Typ výstupučlánok
    Rok vykazovania2012
    DOI 10.1016/j.mee.2012.06.014
    článok

    článok

  5. NázovFabrication process development for a high sensitive electrochemical IDA sensor
    Autor Partel S.
    Spoluautori Mayer M.
    Hudek Peter 1953-
    Dinçer C.
    Kieninger J.
    Urban G.A.
    Motzek K.
    Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Zdroj.dok. Microelectronic Engineering : an international journal of semiconductor manufacturing technology. Vol. 97 (2012), p. 235-240
    KategóriaADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných
    Kategória (od 2022)V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
    Typ výstupučlánok
    Rok vykazovania2012
    DOI 10.1016/j.mee.2012.03.028
    článok

    článok

  6. NázovLaser ablation: A supporting technique to micromachining of SiC
    Autor Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
    Spoluautori Zehetner J.
    Choleva P.
    Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
    Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Zdroj.dok. ASDAM 2012 : conference proceedings. P. 259-262. - Piscataway : IEEE, 2012 / Haščík Štefan 1956 ; Osvald Jozef 1953 ; International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems ASDAM 2012
    KategóriaADMB - Vedecké práce v zahraničných neimpaktovaných časopisoch registrovaných vo WOS Core Collection alebo SCOPUS
    Kategória (od 2022)V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
    Typ výstupučlánok
    Rok vykazovania2012
    DOI 10.1109/ASDAM.2012.6418518
    článok

    článok

  7. NázovMaterial optimization of the alignment marks for the EBDW lithography
    Autor Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Spoluautori Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Partel S.
    Hudek Peter 1953-
    Zdroj.dok. ASDAM 2010 : proceedings of the 8th International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems. P. 85-88. - Piscataway : IEEE, 2010 / Breza J. ; Donoval D. ; Vavrinský E.
    KategóriaAEC - Vedecké práce v zahraničných recenzovaných vedeckých zborníkoch (aj konferenčných), monografiách
    Kategória (od 2022)V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka
    Typ výstupupríspevok
    Rok vykazovania2010
    DOI 10.1109/ASDAM.2010.5666341
    článok

    článok

  8. NázovAlignment marks for the EBDW lithography
    Autor Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Spoluautori Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Partel S.
    Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Zdroj.dok. / Vajda J. ; Weiss M. APCOM 2010 : proceedings of the 16th International Conference on Applied Physics of Condensed matter. P. 252-255. - Bratislava : Slovenská technická univerzita v Bratislave, 2010 ; International Conference on Applied Physics of Condensed Matter APCOM 2010
    KategóriaAED - Vedecké práce v domácich recenzovaných vedeckých zborníkoch (aj konferenčných), monografiách
    Kategória (od 2022)V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka
    Typ výstupupríspevok
    Rok vykazovania2010
    článok

    článok

  9. NázovPreparation method of large and complex defect-free chips directly-written by ZBA 21 e-beam tool
    Autor Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Spoluautori Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Partel S.
    Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Zdroj.dok. APCOM 2009 : proceedings of the 15th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter, held in KRÚ Bystrá, Liptovský Ján, Slovak Republic, June 24-26, 2009. P. 69-72. - Žilina : University of Žilina, 2009 / Pudiš D. ; Harmatha L. ; Müllerová J. ; Jamnický I.
    KategóriaAFDB - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách
    Rok vykazovania2009
    článok

    článok

  10. NázovNew progressive method suitable for the exposure optimization of large and complex defect-free chips direct written by ZBA 21 e-beam tool
    Autor Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Spoluautori Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Partel Stefan
    Hudek Peter 1953-
    Zdroj.dok. / Haščík Štefan 1956 ; Osvald Jozef 1953 ASDAM 2008 : conference proceedings. P. 199-202. - Piscataway, NJ : Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2008 ; International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems
    KategóriaAEC - Vedecké práce v zahraničných recenzovaných vedeckých zborníkoch (aj konferenčných), monografiách
    Kategória (od 2022)V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka
    Typ výstupupríspevok
    Rok vykazovania2008
    DOI 10.1109/ASDAM.2008.4743316
    článok

    článok


  Tieto stránky využívajú súbory cookies, ktoré uľahčujú ich prezeranie. Ďalšie informácie o tom ako používame cookies.