Výsledky vyhľadávania
Názov Bulk micromachining of SiC substrate for MEMS sensor applications Autor Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Spoluautori Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zehetner J. Dzuba Jaroslav 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Choleva P. Kutiš V. Vallo Martin SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Rýger Ivan 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Zdroj.dok. Microelectronic Engineering. Vol. 110, (2013), p. 260-264 Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2013 DOI 10.1016/j.mee.2013.01.046 
článok
Názov Micromachined atomic force microscopy sensor with integrated piezoresistive, sensor and thermal bimorph actuator for high-speed tapping-mode atomic force microscopy phase-imaging in higher eigenmodes Autor Pedrak R. Spoluautori Ivanov T. Ivanova K. Gotszalk T. Abedinov N. Rangelow I.W. Edinger K. Tomerov E. Schenkel T. Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. Journal of Vacuum Science and Technology B. Vol. 21, no. 6 (2013), p. 3102-3107, Microelectronics and Nanometer Structures Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2003 DOI 10.1116/1.1614252 článok
Názov MEMS pressure sensor fabricated by advanced bulk micromachining techniques Autor Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Spoluautori Hudek Peter 1953- Zehetner J. Dzuba Jaroslav 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Choleva P. Vallo Martin SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Rýger Ivan 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Zdroj.dok. Proceedings of the SPIE. Vol. 8763, (2013), p. 8763-101 Kategória ADMB - Vedecké práce v zahraničných neimpaktovaných časopisoch registrovaných vo WOS Core Collection alebo SCOPUS Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2013 DOI 10.1117/12.2017499 článok
Názov Micromachined membrane structures for pressure sensors based on AlGaN/GaN circular HEMT sensing device Autor Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Spoluautori Hudek Peter 1953- Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Dzuba Jaroslav 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Kutiš V. Srnánek R. Choleva P. Vallo Martin SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Držík Milan Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. Microelectronic Engineering : an international journal of semiconductor manufacturing technology. Vol. 98, (2012), p. 578-581 Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2012 DOI 10.1016/j.mee.2012.06.014 článok
Názov Fabrication process development for a high sensitive electrochemical IDA sensor Autor Partel S. Spoluautori Mayer M. Hudek Peter 1953- Dinçer C. Kieninger J. Urban G.A. Motzek K. Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. Microelectronic Engineering : an international journal of semiconductor manufacturing technology. Vol. 97 (2012), p. 235-240 Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2012 DOI 10.1016/j.mee.2012.03.028 článok
Názov Laser ablation: A supporting technique to micromachining of SiC Autor Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Spoluautori Zehetner J. Choleva P. Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. ASDAM 2012 : conference proceedings. P. 259-262. - Piscataway : IEEE, 2012 / Haščík Štefan 1956 ; Osvald Jozef 1953 ; International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems ASDAM 2012 Kategória ADMB - Vedecké práce v zahraničných neimpaktovaných časopisoch registrovaných vo WOS Core Collection alebo SCOPUS Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2012 DOI 10.1109/ASDAM.2012.6418518 článok
Názov Material optimization of the alignment marks for the EBDW lithography Autor Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Partel S. Hudek Peter 1953- Zdroj.dok. ASDAM 2010 : proceedings of the 8th International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems. P. 85-88. - Piscataway : IEEE, 2010 / Breza J. ; Donoval D. ; Vavrinský E. Kategória AEC - Vedecké práce v zahraničných recenzovaných vedeckých zborníkoch (aj konferenčných), monografiách Kategória (od 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Typ výstupu príspevok Rok vykazovania 2010 DOI 10.1109/ASDAM.2010.5666341 článok
Názov Alignment marks for the EBDW lithography Autor Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Partel S. Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. / Vajda J. ; Weiss M. APCOM 2010 : proceedings of the 16th International Conference on Applied Physics of Condensed matter. P. 252-255. - Bratislava : Slovenská technická univerzita v Bratislave, 2010 ; International Conference on Applied Physics of Condensed Matter APCOM 2010 Kategória AED - Vedecké práce v domácich recenzovaných vedeckých zborníkoch (aj konferenčných), monografiách Kategória (od 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Typ výstupu príspevok Rok vykazovania 2010 článok
Názov Preparation method of large and complex defect-free chips directly-written by ZBA 21 e-beam tool Autor Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Partel S. Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. APCOM 2009 : proceedings of the 15th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter, held in KRÚ Bystrá, Liptovský Ján, Slovak Republic, June 24-26, 2009. P. 69-72. - Žilina : University of Žilina, 2009 / Pudiš D. ; Harmatha L. ; Müllerová J. ; Jamnický I. Kategória AFDB - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Rok vykazovania 2009 článok
Názov New progressive method suitable for the exposure optimization of large and complex defect-free chips direct written by ZBA 21 e-beam tool Autor Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Partel Stefan Hudek Peter 1953- Zdroj.dok. / Haščík Štefan 1956 ; Osvald Jozef 1953 ASDAM 2008 : conference proceedings. P. 199-202. - Piscataway, NJ : Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2008 ; International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems Kategória AEC - Vedecké práce v zahraničných recenzovaných vedeckých zborníkoch (aj konferenčných), monografiách Kategória (od 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Typ výstupu príspevok Rok vykazovania 2008 DOI 10.1109/ASDAM.2008.4743316 článok