Výsledky vyhľadávania
Názov Micro structuring of bulk SiC substrates by femtosecond laser ablation Autor Zehetner J. Spoluautori Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Dzuba Jaroslav 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Lucki M. Kraus S. Zdroj.dok. APCOM 2016 : Proceedings of the 22nd international conference on applied physics of condensed matter, June 22-24, 2016, Štrbské Pleso, Slovak Republic. P. 302-305. - Bratislava : Slovenská technická univerzita v Bratislave, 2016 / Vajda J. ; Jamnický I. ; Sitek J. ; Ballo P. ; APCOM 2016. International Conference on Applied Physics of Condensed Matter Kategória AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Rok vykazovania 2016 Názov Manufacturing of membranes by laser ablation in SiC, sapphire, glass and ceramic for GaN/ferroelectric thin film MEMS and pressure sensors Autor Zehetner J. Spoluautori Kraus S. Lucki M. Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Dzuba Jaroslav 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Zdroj.dok. Microsystem Technologies-micro-and nanosystems-onformation storage and processing systems. Vol. 22 (2016), p. 1883-1892 Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2016 DOI 10.1007/s00542-016-2887-2 Názov súboru Prístup Veľkosť Stiahnuté Typ Licence Manufacturing of membranes by laser ablation in SiC, sapphire, glass.pdf Prístupný 1.8 MB 0 Vydavateľská verzia