Výsledky vyhľadávania
Názov Micro structuring of bulk SiC substrates by femtosecond laser ablation Autor Zehetner J. Spoluautori Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Dzuba Jaroslav 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Lucki M. Kraus S. Zdroj.dok. APCOM 2016 : Proceedings of the 22nd international conference on applied physics of condensed matter, June 22-24, 2016, Štrbské Pleso, Slovak Republic. P. 302-305. - Bratislava : Slovenská technická univerzita v Bratislave, 2016 / Vajda J. ; Jamnický I. ; Sitek J. ; Ballo P. ; APCOM 2016. International Conference on Applied Physics of Condensed Matter Kategória AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Rok vykazovania 2016 
článok
Názov Manufacturing of membranes by laser ablation in SiC, sapphire, glass and ceramic for GaN/ferroelectric thin film MEMS and pressure sensors Autor Zehetner J. Spoluautori Kraus S. Lucki M. Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Dzuba Jaroslav 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Zdroj.dok. Microsystem Technologies-micro-and nanosystems-onformation storage and processing systems. Vol. 22 (2016), p. 1883-1892 Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2016 DOI 10.1007/s00542-016-2887-2 Názov súboru Prístup Veľkosť Stiahnuté Typ Licence Manufacturing of membranes by laser ablation in SiC, sapphire, glass.pdf Prístupný 1.8 MB 0 Vydavateľská verzia článok
Názov Laser ablation for membrane processing of AlGaN/GaN- and micro structured ferroelectric thin film MEMS and SiC pressure sensors for extreme conditions Autor Zehetner J. Spoluautori Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Dzuba Jaroslav 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Rýger Ivan 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Benkler M. Lucki M. Zdroj.dok. Proceedings of the SPIE. Vol. 9517, (2015), 951721 Kategória ADMB - Vedecké práce v zahraničných neimpaktovaných časopisoch registrovaných vo WOS Core Collection alebo SCOPUS Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2015 DOI 10.1117/12.2179041 článok