Výsledky vyhľadávania
Názov Limits to nanopatterning based on e-beam lithography Autor Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Glezos N. Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- Písečný Pavol Velessiotis Dimitrios Zdroj.dok. Proceedings of the 20th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter : APCOM 2014. P. 292-295. - Bratislava : FEI STU, 2014 / Vajda J. ; Jamnický I. ; International Conference on Applied Physics of Condensed Matter APCOM 2014 Kategória AFDA - Publikované príspevky na medzinárodných vedeckých konferenciách poriadaných v SR Rok vykazovania 2014 
článok
Názov RIE plasma etching of GaAs in SiCl4 and CCl4 gases with different resists as etch masks Autor Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Haščík Štefan 1956 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Zdroj.dok. / Vajda J. ; Jamnický I. Proceedings of the 20th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter : APCOM 2014. P. 312-315. - Bratislava : FEI STU, 2014 ; International Conference on Applied Physics of Condensed Matter APCOM 2014 Kategória AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Rok vykazovania 2014 článok
Názov Application of direct write variable shape e-beam lithography Autor Jablonská Viera 1965- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Čaplovič Igor 1948 SAVINFO - Ústav informatiky SAV Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. / Bardošová Mária 13th European Conference on Organised Films : ECOF 13. P. P35. - Cork : Tyndall National Institute UCC, 2013 ; European Conference on Organised Films ECOF 13 Kategória BFA - Abstrakty odborných prác zo zahraničných podujatí (konferencie...) Rok vykazovania 2013 článok
Názov Suitability of N2 plasma for the RIE etching of thin Ag layers Autor Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Haščík Štefan 1956 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. / Vajda J. ; Jamnický I. Proceedings of the 19th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter : APCOM 2013. P. 54-57. - Bratislava : Nakladateľstvo STU Bratislava, 2013 ; International Conference on Applied Physics of Condensed Matter APCOM 2013 Kategória AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Rok vykazovania 2013 článok
Názov The AZ 5214E resist in EBDW lithography and its use as a RIE etch-mask in etching thin Ag layers in N2 plasma Autor Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Škriniarová Jaroslava Zdroj.dok. Journal of Electrical Engineering. Vol. 64, no. 6 (2013), p. 371-375 Kategória ADNA - Vedecké práce v domácich impaktovaných časopisoch registrovaných vo WOS Core Collection alebo SCOPUS Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2013 DOI 10.2478/jee-2013-0056 článok
Názov Characterization of test structures for e-beam lithography for estimation of proximity exposure parameters Autor Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. / Vajda J. ; Jamnický I. APCOM 2012 : proceedings on Applied Physics of Condensed Matter of the 18th International Conference. P. 141-144. - Bratislava : Slovenská technická univerzita v Bratislave, 2012 ; International Conference on Applied Physics of Condensed Matter APCOM 2012 Kategória AFDA - Publikované príspevky na medzinárodných vedeckých konferenciách poriadaných v SR Rok vykazovania 2012 článok
Názov Micromachined membrane structures for pressure sensors based on AlGaN/GaN circular HEMT sensing device Autor Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Spoluautori Hudek Peter 1953- Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Dzuba Jaroslav 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Kutiš V. Srnánek R. Choleva P. Vallo Martin SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Držík Milan Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. Microelectronic Engineering : an international journal of semiconductor manufacturing technology. Vol. 98, (2012), p. 578-581 Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2012 DOI 10.1016/j.mee.2012.06.014 článok
Názov Fabrication process development for a high sensitive electrochemical IDA sensor Autor Partel S. Spoluautori Mayer M. Hudek Peter 1953- Dinçer C. Kieninger J. Urban G.A. Motzek K. Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. Microelectronic Engineering : an international journal of semiconductor manufacturing technology. Vol. 97 (2012), p. 235-240 Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2012 DOI 10.1016/j.mee.2012.03.028 článok
Názov Nanoštruktúry pre vývoj obvodov a senzorov : príprava nanoštruktúr metódou elektrónovej litografie Preklad názvu Nanostructures for the development of circuits and sensors : preparation of nanostructure by e-beam lithography Autor Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Čaplovič Igor 1948 SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Jablonská Viera 1965- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Považan Ivo 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. / Hluchý Ladislav 1952- ; Kozák Štefan ; Budinská Ivana 1964- Informačné technológie na predvídanie a riešenie krízových situácií : seminár. 7 p.. - Bratislava : Ústav informatiky SAV, 2012 ; Seminár Informačné technológie na predvídanie a riešenie krízových situácií Kategória AFDB - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Rok vykazovania 2012 článok
Názov Determination of the conduction band offset in the a-Si:H/c-Si heterojunction structures from coplanar temperature current-voltage measurements Autor Mikolášek M. Spoluautori Prušáková L. Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Řeháček V. Jakabovič J. Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Kotlár M. Harmatha L. Zdroj.dok. / Pudiš D. ; Kubicova I. ; Bury P. APCOM 2011 : proceedings of the 17th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter, held in SPA Nový Smokovec, High Tatras, Slovakia, June 22-24, 2011. P. 184-187. - Žilina : University of Žilina, 2011 Kategória AED - Vedecké práce v domácich recenzovaných vedeckých zborníkoch (aj konferenčných), monografiách Kategória (od 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Typ výstupu príspevok Rok vykazovania 2011 článok