Výsledky vyhľadávania
Názov Comparison of Al and Cu masks used for patterning boron-doped diamonds in oxygen plasma Autor Marton Marián Spoluautori Ritomský Mário 1993- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Řeháček V. Michniak P. Behúl Miroslav Novák Patrik Vančo L. Vojs M. Zdroj.dok. Journal of Micromechanics and Microengineering. Vol. 29, no. 12 (2019), art. no. 124004, 9 p. Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2020 DOI 10.1088/1361-6439/ab4d6f Názov súboru Prístup Veľkosť Stiahnuté Typ Licence Comparison of Al and Cu masks used for patterning boron-doped diamonds in oxygen plasma.pdf Prístupný 3 MB 0 Vydavateľská verzia 
článok
Názov Study of self-masking nanostructuring of boron doped diamond films by RF plasma etching Autor Marton Marián Spoluautori Ritomský Mário 1993- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Michniak P. Behúl Miroslav Řeháček V. Redhammer R. Vincze A. Papula Martin Vojs M. Korp. 17th Joint Vacuum Conference. JVC : Olomouc, Czech Republic : September 10-14, 2018 Zdroj.dok. Vacuum. Vol. 170 (2019), art. no. 108954 Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2020 DOI 10.1016/j.vacuum.2019.108954 Názov súboru Prístup Veľkosť Stiahnuté Typ Licence Study of self-masking nanostructuring of boron doped diamond films by RF plasma etching.pdf Prístupný 5.2 MB 2 Vydavateľská verzia článok
Názov Effect of mask material on the side walls angle of boron doped diamond patterns etched in various types of plasma Autor Marton Marián Spoluautori Ritomský Mário 1993- Řeháček V. Michniak P. Behúl Miroslav Redhammer R. Vojs M. Akcia MME 2018. 29th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop : 26-29 August 2018 : Smolenice, Slovakia Zdroj.dok. MME 2018 : 29th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop : Booklet with full papers. P. 150-155. - Bratislava : Slovak University of Technology, Bratislava, 2018 / Hotový I. ; Mikolášek M. ; Predanocy Martin 1984- ; MME 2018 29th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop Kategória AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Rok vykazovania 2018 článok
Názov Analysis of carbon nanowals prepared by hot filament chemical vapour deposition Autor Michniak P. Spoluautori Marton M. Behú M. Redhammer R. Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Zdroj.dok. NANOCON 2015 : 7th International Conference on Nanomaterials - Research and Application; Brno October 2015. P. 143-148. - : TANGER Ltd., 2015 Kategória ADMB - Vedecké práce v zahraničných neimpaktovaných časopisoch registrovaných vo WOS Core Collection alebo SCOPUS Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2016 článok
Názov Development of diamond thin films on various substrates Autor Vincze A. Spoluautori Michniak P. Varga M. Dobročka Edmund 1955 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Uherek F. Zdroj.dok. / Pudiš D. ; Kubicova I. ; Bury P. APCOM 2011 : proceedings of the 17th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter, held in SPA Nový Smokovec, High Tatras, Slovakia, June 22-24, 2011. P. 82-85. - Žilina : University of Žilina, 2011 Kategória AED - Vedecké práce v domácich recenzovaných vedeckých zborníkoch (aj konferenčných), monografiách Kategória (od 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Typ výstupu príspevok Rok vykazovania 2011 článok