Výsledky vyhľadávania
Názov Micro structuring of diaphragms for III-N MEMS using short pulsed laser ablation Autor Zehetner J. Spoluautori Kasemann S. Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Dzuba Jaroslav 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Nürnberger S. Zdroj.dok. ADEPT 2017 : proceedings of the 5th International Conference on Advances in Electronic and Photonic Technologies, Podbanské, High Tatras, Slovakia, June 19-22, 2017. P. 287-290. - Žilina : University of Žilina, 2017 / Lettrichová I. ; Šušlik Ľ. ; Kováč Jaroslav Jr. Kategória AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Rok vykazovania 2017 
článok