Výsledky vyhľadávania
Názov Study of self-masking nanostructuring of boron doped diamond films by RF plasma etching Autor Marton Marián Spoluautori Ritomský Mário 1993- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Michniak P. Behúl Miroslav Řeháček V. Redhammer R. Vincze A. Papula Martin Vojs M. Korp. 17th Joint Vacuum Conference. JVC : Olomouc, Czech Republic : September 10-14, 2018 Zdroj.dok. Vacuum. Vol. 170 (2019), art. no. 108954 Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2020 DOI 10.1016/j.vacuum.2019.108954 Názov súboru Prístup Veľkosť Stiahnuté Typ Licence Study of self-masking nanostructuring of boron doped diamond films by RF plasma etching.pdf Prístupný 5.2 MB 2 Vydavateľská verzia 
článok