Výsledky vyhľadávania
Názov Fabrication process development for a high sensitive electrochemical IDA sensor Autor Partel S. Spoluautori Mayer M. Hudek Peter 1953- Dinçer C. Kieninger J. Urban G.A. Motzek K. Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. Microelectronic Engineering : an international journal of semiconductor manufacturing technology. Vol. 97 (2012), p. 235-240 Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2012 DOI 10.1016/j.mee.2012.03.028 
článok
Názov Material optimization of the alignment marks for the EBDW lithography Autor Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Partel S. Hudek Peter 1953- Zdroj.dok. ASDAM 2010 : proceedings of the 8th International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems. P. 85-88. - Piscataway : IEEE, 2010 / Breza J. ; Donoval D. ; Vavrinský E. Kategória AEC - Vedecké práce v zahraničných recenzovaných vedeckých zborníkoch (aj konferenčných), monografiách Kategória (od 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Typ výstupu príspevok Rok vykazovania 2010 DOI 10.1109/ASDAM.2010.5666341 článok
Názov Alignment marks for the EBDW lithography Autor Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Partel S. Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. / Vajda J. ; Weiss M. APCOM 2010 : proceedings of the 16th International Conference on Applied Physics of Condensed matter. P. 252-255. - Bratislava : Slovenská technická univerzita v Bratislave, 2010 ; International Conference on Applied Physics of Condensed Matter APCOM 2010 Kategória AED - Vedecké práce v domácich recenzovaných vedeckých zborníkoch (aj konferenčných), monografiách Kategória (od 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Typ výstupu príspevok Rok vykazovania 2010 článok
Názov Preparation method of large and complex defect-free chips directly-written by ZBA 21 e-beam tool Autor Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Partel S. Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. APCOM 2009 : proceedings of the 15th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter, held in KRÚ Bystrá, Liptovský Ján, Slovak Republic, June 24-26, 2009. P. 69-72. - Žilina : University of Žilina, 2009 / Pudiš D. ; Harmatha L. ; Müllerová J. ; Jamnický I. Kategória AFDB - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Rok vykazovania 2009 článok