Výsledky vyhľadávania
Názov Structuring of titanium nitride films by dry reactive ion etching Autor Izsák Tibor SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Spoluautori Ščepka Tomáš 1985 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Fedor Ján 1976 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Romanyuk O. Hudec Boris SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Zdroj.dok. Proceedings of ADEPT 2023 : 11th International Conference on Advances in Electronic and Photonic Technologies, held in Podbanské, High Tatras, Slovakia, June 12th – 15th, 2023. P. 150-153. - Žilina : University of Zilina in EDIS-Publishing Centre of UZ, 2023 / Jandura D. ; Lettrichová I. ; Kováč J., jr. Kategória AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Kategória (od 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Typ výstupu príspevok z podujatia Rok vykazovania 2023