Výsledky vyhľadávania
Názov Experimental and theoretical study on chemically semi-amplified resist AR-P 6200 Autor Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Vutova Katia Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Tanaka Takeshi Korp. VEIT 2017. 20th International Summer School on Vacuum, Electron and Ion Technologies : Black Sea Resort Sozopol, Bulgaria : September 25-29, 2017 Zdroj.dok. Journal of Physics: Conference Series. Vol. 992 (2018), art. no. 012057 Kategória ADMB - Vedecké práce v zahraničných neimpaktovaných časopisoch registrovaných vo WOS Core Collection alebo SCOPUS Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2018 DOI 10.1088/1742-6596/992/1/012057 URL URL link Názov súboru Prístup Veľkosť Stiahnuté Typ Licence Experimental and theoretical study on chemically semi-amplified resist AR-P 6200.pdf Prístupný 1.2 MB 0 Vydavateľská verzia 
článok
Názov Nonlinear solubility behavior of polymer and oligomer resists at electron beam modification Autor Vutova Katia Spoluautori Mladenov Georgy Koleva Elena Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Tanaka Takeshi Zdroj.dok. Journal of materials science and engineering B. Vol. 1 (2011) p. 523-529 Kategória ADEA - Vedecké práce v ostatných zahraničných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2011 článok