Výsledky vyhľadávania
Názov Parallel proximal probe arrays with vertical interconnections Autor Sarov Y. Spoluautori Frank A. Ivanov Tzv. Zöllner J.-P. Ivanova K. Volland B. Rangelow I.W. Brogan A. Wilson R. Zawierucha P. Zielony M. Gotszalk T. Nikolov N. Zier M. Schmidt B Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. Journal of Vacuum Science and Technology B. Vol. 27, no. 6 (2009), p. 3132-3138, Microelectronics and Nanometer Structures Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2010 DOI 10.1116/1.3256662 Názov Scanning proximal probes for parallel imaging and lithography Autor Ivanova K. Spoluautori Sarov Y. Ivanov T.Z. Frank A. Zöllner J. Bitterlich Ch. Wenzel U. Volland B. Klett S. Rangelow I.W. Zawierucha P. Zielony M. Gotszalk T. Dontzov D. Schott W. Nikolov N. Zier M. Schmidt B. Engl W. Sulzbach T. Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Vyd.údaje American Vacuum Society Zdroj.dok. Journal of Vacuum Science Technology B. Vol. 26, No. 6 (2008) P. 2367-2373 Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2008 DOI 10.1116/1.2990789 Názov Duo-action electro thermal micro gripper Autor Volland B. Spoluautori Ivanova K. Ivanov T.Z. Sarov Y. Guliyev E. Persaud A. Zollner J.-P. Klett S. Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Rangelow I.W. Zdroj.dok. Microelectronic Engineering : An International Journal of Semiconductor Manufacturing Technology. Vol. 84, P. 1329-1332 (2007) Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2007 DOI 10.1016/j.mee.2007.01.177 Názov Piezoresistive and self-actuated 128-cantilever arrays for nanotechnology applications Autor Rangelow I.W. Spoluautori Ivanov T.Z. Ivanova K. Volland B. Grabiec P. Sarov Y. Persaud A. Gotszalk T. Zawierucha P. Zielony M. Dontzov D. Schmidt B Zier M. Nikolov N. Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Engl W. Sulzbach T. Mielczarski J. Kolb S. du Latimier P. Pedreau R. Djakov V. Huq S.E. Edinger K. Fortagne O. Almansa A. Blom H.O. Zdroj.dok. Microelectronic Engineering : An International Journal of Semiconductor Manufacturing Technology. Vol. 84, iss. 5-8 (2007) p. 1260-1264 Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2007 DOI 10.1016/j.mee.2007.01.219 Názov Thermally driven microgripper as a tool for micro assembly Autor Ivanova Katerina Spoluautori Ivanov Tzevan Badar Ali Volland B. Rangelow Ivo W. Andrijasevic Daniela Sumecz Franz Fischer Stephanie Spitzbart Manfred Brenner Werner Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. Microelectronic Engineering : An International Journal of Semiconductor Manufacturing Technology. Vol. 83 (2006) iss. 4-9, p.1393-1395. - Amsterdam : Elsevier Science Publishers Kategória ADC Rok vykazovania 2006 DOI 10.1016/j.mee.2006.01.072 Názov Nanostructuring of Mo/Si multilayers by means of reactive ion etching using a three-level mask Autor Dreeskornfeld L. Spoluautori Haindl G. Kleineberg U. Heinzmann U. Shi F. Volland B. Rangelow I.W. Majková Eva 1950 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Luby Štefan 1941 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Kostič Ivan SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hsin-Yi Lee Zdroj.dok. Thin Solid Films. Vol. 458 ( 2004 ), p. 227-232 Kategória ADC Rok vykazovania 2004 DOI 10.1016/j.tsf.2003.09.070 Názov Evaluation and fabrication of AFM array for ESA-Midas/Rosetta space mission Autor Barth W. Spoluautori Debski T. Abedinov N. Ivanov T.Z. Heerlein H. Volland B. Gotszalk T. Rangelow I.W. Torkar K. Fritzenwallner K. Grabiec P. Studzinska K. Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. Microelectronic Engineering. Vol. 57-58 (2001), p. 825-831 Kategória ADC Rok vykazovania 2001 Názov The application of secondary effects in high aspect ratio dry etching for the fabrication of MEMS Autor Volland B. Spoluautori Heerlein H. Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Rangelow I.W. Zdroj.dok. Microelectronic Engineering. Vol. 57-58 (2001), p. 641-650 Kategória ADC Rok vykazovania 2001 Názov 35uM thick high-resolution silicon stencil mask: Fabrication and operation in high energy ion projection and 10xdemagnification ion projection lithography Autor Rangelow I.W. Spoluautori Sossna E. Volland B. Shi F. Meijer J. Stephan A. Weidenmuller U. Bukow H.H. Rolfs C. Ngo Vinh Van Leung K.N. Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Akcia The 45th International Conference on Electron, Ion and Photo Beam Technology and Nanofabrication. EIPBN 2001 ( 45th : May 29-June 1, 2001 : Washington, DC ) Zdroj.dok. The 45th International Conference on Electron, Ion and Photo Beam Technology and Nanofabrication : EIPBN 2001. Abstracts. P. 96-97. - Washington, DC, USA, 2001 Kategória AFG - Abstrakty príspevkov zo zahraničných konferencií Rok vykazovania 2001 Názov Fabrication of open stencil masks with asymmetric void ratio for the ion projection lithography space charge experiment Autor Volland B. Spoluautori Shi F. Heerlein H. Rangelow I.W. Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Cekan E. Vonach H. Loeschner Hans Horner C. Stengl G. Buschbeck H. Zeininger M. Bleeker A. Benschop J. Zdroj.dok. Journal of Vacuum Science and Technology B. Vol. 18, no. 6 (2000), p. 3202-3206 Kategória ADC Rok vykazovania 2000 DOI 10.1116/1.1319688