Výsledky vyhľadávania

Nájdených záznamov: 16  
Váš dotaz: Autor-kód záznamu = "^sav_un_auth 0001914^"
  1. NázovParallel proximal probe arrays with vertical interconnections
    Autor Sarov Y.
    Spoluautori Frank A.
    Ivanov Tzv.
    Zöllner J.-P.
    Ivanova K.
    Volland B.
    Rangelow I.W.
    Brogan A.
    Wilson R.
    Zawierucha P.
    Zielony M.
    Gotszalk T.
    Nikolov N.
    Zier M.
    Schmidt B
    Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Zdroj.dok. Journal of Vacuum Science and Technology B. Vol. 27, no. 6 (2009), p. 3132-3138, Microelectronics and Nanometer Structures
    KategóriaADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných
    Kategória (od 2022)V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
    Typ výstupučlánok
    Rok vykazovania2010
    DOI 10.1116/1.3256662
    článok

    článok

  2. NázovScanning proximal probes for parallel imaging and lithography
    Autor Ivanova K.
    Spoluautori Sarov Y.
    Ivanov T.Z.
    Frank A.
    Zöllner J.
    Bitterlich Ch.
    Wenzel U.
    Volland B.
    Klett S.
    Rangelow I.W.
    Zawierucha P.
    Zielony M.
    Gotszalk T.
    Dontzov D.
    Schott W.
    Nikolov N.
    Zier M.
    Schmidt B.
    Engl W.
    Sulzbach T.
    Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Vyd.údajeAmerican Vacuum Society
    Zdroj.dok. Journal of Vacuum Science Technology B. Vol. 26, No. 6 (2008) P. 2367-2373
    KategóriaADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných
    Kategória (od 2022)V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
    Typ výstupučlánok
    Rok vykazovania2008
    DOI 10.1116/1.2990789
    článok

    článok

  3. NázovDuo-action electro thermal micro gripper
    Autor Volland B.
    Spoluautori Ivanova K.
    Ivanov T.Z.
    Sarov Y.
    Guliyev E.
    Persaud A.
    Zollner J.-P.
    Klett S.
    Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Rangelow I.W.
    Zdroj.dok. Microelectronic Engineering : An International Journal of Semiconductor Manufacturing Technology. Vol. 84, P. 1329-1332 (2007)
    KategóriaADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných
    Kategória (od 2022)V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
    Typ výstupučlánok
    Rok vykazovania2007
    DOI 10.1016/j.mee.2007.01.177
    článok

    článok

  4. NázovPiezoresistive and self-actuated 128-cantilever arrays for nanotechnology applications
    Autor Rangelow I.W.
    Spoluautori Ivanov T.Z.
    Ivanova K.
    Volland B.
    Grabiec P.
    Sarov Y.
    Persaud A.
    Gotszalk T.
    Zawierucha P.
    Zielony M.
    Dontzov D.
    Schmidt B
    Zier M.
    Nikolov N.
    Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Engl W.
    Sulzbach T.
    Mielczarski J.
    Kolb S.
    du Latimier P.
    Pedreau R.
    Djakov V.
    Huq S.E.
    Edinger K.
    Fortagne O.
    Almansa A.
    Blom H.O.
    Zdroj.dok. Microelectronic Engineering : An International Journal of Semiconductor Manufacturing Technology. Vol. 84, iss. 5-8 (2007) p. 1260-1264
    KategóriaADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných
    Kategória (od 2022)V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
    Typ výstupučlánok
    Rok vykazovania2007
    DOI 10.1016/j.mee.2007.01.219
    článok

    článok

  5. NázovThermally driven microgripper as a tool for micro assembly
    Autor Ivanova Katerina
    Spoluautori Ivanov Tzevan
    Badar Ali
    Volland B.
    Rangelow Ivo W.
    Andrijasevic Daniela
    Sumecz Franz
    Fischer Stephanie
    Spitzbart Manfred
    Brenner Werner
    Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Zdroj.dok. Microelectronic Engineering : An International Journal of Semiconductor Manufacturing Technology. Vol. 83 (2006) iss. 4-9, p.1393-1395. - Amsterdam : Elsevier Science Publishers
    KategóriaADC
    Rok vykazovania2006
    DOI 10.1016/j.mee.2006.01.072
    článok

    článok

  6. NázovNanostructuring of Mo/Si multilayers by means of reactive ion etching using a three-level mask
    Autor Dreeskornfeld L.
    Spoluautori Haindl G.
    Kleineberg U.
    Heinzmann U.
    Shi F.
    Volland B.
    Rangelow I.W.
    Majková Eva 1950 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV
    Luby Štefan 1941 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV
    Kostič Ivan SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Hsin-Yi Lee
    Zdroj.dok.Thin Solid Films. Vol. 458 ( 2004 ), p. 227-232
    KategóriaADC
    Rok vykazovania2004
    DOI 10.1016/j.tsf.2003.09.070
    článok

    článok

  7. NázovEvaluation and fabrication of AFM array for ESA-Midas/Rosetta space mission
    Autor Barth W.
    Spoluautori Debski T.
    Abedinov N.
    Ivanov T.Z.
    Heerlein H.
    Volland B.
    Gotszalk T.
    Rangelow I.W.
    Torkar K.
    Fritzenwallner K.
    Grabiec P.
    Studzinska K.
    Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Zdroj.dok. Microelectronic Engineering. Vol. 57-58 (2001), p. 825-831
    KategóriaADC
    Rok vykazovania2001
    článok

    článok

  8. NázovThe application of secondary effects in high aspect ratio dry etching for the fabrication of MEMS
    Autor Volland B.
    Spoluautori Heerlein H.
    Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Rangelow I.W.
    Zdroj.dok. Microelectronic Engineering. Vol. 57-58 (2001), p. 641-650
    KategóriaADC
    Rok vykazovania2001
    článok

    článok

  9. Názov35uM thick high-resolution silicon stencil mask: Fabrication and operation in high energy ion projection and 10xdemagnification ion projection lithography
    Autor Rangelow I.W.
    Spoluautori Sossna E.
    Volland B.
    Shi F.
    Meijer J.
    Stephan A.
    Weidenmuller U.
    Bukow H.H.
    Rolfs C.
    Ngo Vinh Van
    Leung K.N.
    Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Akcia The 45th International Conference on Electron, Ion and Photo Beam Technology and Nanofabrication. EIPBN 2001 ( 45th : May 29-June 1, 2001 : Washington, DC )
    Zdroj.dok. The 45th International Conference on Electron, Ion and Photo Beam Technology and Nanofabrication : EIPBN 2001. Abstracts. P. 96-97. - Washington, DC, USA, 2001
    KategóriaAFG - Abstrakty príspevkov zo zahraničných konferencií
    Rok vykazovania2001
    článok

    článok

  10. NázovFabrication of open stencil masks with asymmetric void ratio for the ion projection lithography space charge experiment
    Autor Volland B.
    Spoluautori Shi F.
    Heerlein H.
    Rangelow I.W.
    Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV
    Cekan E.
    Vonach H.
    Loeschner Hans
    Horner C.
    Stengl G.
    Buschbeck H.
    Zeininger M.
    Bleeker A.
    Benschop J.
    Zdroj.dok. Journal of Vacuum Science and Technology B. Vol. 18, no. 6 (2000), p. 3202-3206
    KategóriaADC
    Rok vykazovania2000
    DOI 10.1116/1.1319688
    článok

    článok


  Tieto stránky využívajú súbory cookies, ktoré uľahčujú ich prezeranie. Ďalšie informácie o tom ako používame cookies.