Výsledky vyhľadávania
Názov Recent challenges in micromachining of wide-bandgap materials and fabrication of MEMS for harsh environments Autor Zehetner J. Spoluautori Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Dohnal F. Izsák Tibor SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Držík Milan Kromka A. Zdroj.dok. Proceedings of ADEPT 2022 : 10th International Conference on Advances in Electronic and Photonic Technologies, Tatranská Lomnica, High Tatras, Slovakia. P. 7-12. - Žilina : University of Zilina in EDIS-Publishing Centre of UZ, 2022 / Feiler M. ; Ziman M. ; Kováčová S. ; Kováč Jaroslav Jr. Kategória AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Kategória (od 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Typ výstupu príspevok z podujatia Rok vykazovania 2022 Názov súboru Prístup Veľkosť Stiahnuté Typ Licence Recent challenges in micromachining of wide-bandgap materials and fabrication of MEMS for harsh environments.pdf Prístupný 659.7 KB 3 Vydavateľská verzia 
článok
Názov Optimization of mask material for deep reactive ion etching of GaAs structures Autor Izsák Tibor SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Spoluautori Kováčová Eva 1966 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Haščík Štefan 1956 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Zehetner J. Vojs M. Zaťko Bohumír 1973 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Akcia VEGA 2/0084/20. vedúci projektu Zaťko, Bohumír : 2020-2023 APVV 18-0273. vedúci projektu Zaťko, Bohumír : 2019-2023 APVV 18-0243. vedúci projektu Zaťko, Bohumír : 2019-2022 Zdroj.dok. Proceedings of ADEPT 2021 : 10th International Conference on Advances in Electronic and Photonic Technologies, Tatranská Lomnica, High Tatras, Slovakia. P. 169-172. - Žilina : University of Zilina in EDIS-Publishing Centre of UZ, 2022 / Feiler M. ; Ziman M. ; Kováčová S. ; Kováč Jaroslav Jr. Kategória AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Kategória (od 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Typ výstupu príspevok z podujatia Rok vykazovania 2022 Názov súboru Prístup Veľkosť Stiahnuté Typ Licence Optimization of mask material for deep reactive ion etching of GaAs structures.pdf Prístupný 511.6 KB 2 Vydavateľská verzia článok
Názov Growth of carbon allotropes in plasma CVD system Autor Kromka A. Spoluautori Babchenko Oleg 1983 Izsák Tibor SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Varga Marian SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Zehetner J. Potocký Štěpán Akcia MoRePro 19MRP0010. vedúci projetu: M. Varga : 2020-2024 Zdroj.dok. Proceedings of ADEPT 2021 : 10th International Conference on Advances in Electronic and Photonic Technologies, Tatranská Lomnica, High Tatras, Slovakia. P. 17-20. - Žilina : University of Zilina in EDIS-Publishing Centre of UZ, 2022 / Feiler M. ; Ziman M. ; Kováčová S. ; Kováč Jaroslav Jr. Kategória AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Kategória (od 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Typ výstupu príspevok z podujatia Rok vykazovania 2022 Názov súboru Prístup Veľkosť Stiahnuté Typ Licence Growth of carbon allotropes in plasma CVD system.pdf Prístupný 668.6 KB 2 Vydavateľská verzia článok
Názov Diamond cantilevers for MEMS sensor applications fabricated by laser abiation and optimized etching techniques Autor Zehetner J. Spoluautori Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Izsák Tibor SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Kováčová Eva 1966 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Držík Milan Dohnal F. Kromka A. Zdroj.dok. ASDAM 2022 : Conference Proceedings. P. 195-198. - : IEEE, 2022 / Marek Juraj ; Donoval D. ; Vavrinský E. ; International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems Kategória AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Kategória (od 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Typ výstupu príspevok z podujatia Rok vykazovania 2022 článok
Názov Uncooled antenna-coupled microbolometer for detection of terahertz radiation Autor Rýger Ivan 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Spoluautori Lobotka Peter 1950 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Steiger A. Chromik Štefan 1949 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Raida Z. Pítra K. Zehetner J. Španková Marianna 1969 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Gaži Štefan 1948 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Sojková Michaela 1980 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Zdroj.dok. Journal of Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves. Vol. 42 (2021), p. 462-478 Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2021 DOI 10.1007/s10762-021-00781-y Názov súboru Prístup Veľkosť Stiahnuté Typ Licence Uncooled Antenna-Coupled Microbolometer.pdf Neprístupný/archív 4.9 MB 1 Vydavateľská verzia článok
Názov Front-side diamond deposition on the GaN membranes Autor Izsák Tibor SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Spoluautori Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Držík Milan Kasemann S. Zehetner J. Vojs M. Zaťko Bohumír 1973 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Potocký Štěpán Kromka A. Zdroj.dok. ASDAM 2020 : 13th International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems. P. 42-45. - : IEEE, 2020 / Izsák Tibor ; Vanko Gabriel 1981 Kategória ADMB - Vedecké práce v zahraničných neimpaktovaných časopisoch registrovaných vo WOS Core Collection alebo SCOPUS Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2020 DOI 10.1109/ASDAM50306.2020.9393833 Názov súboru Prístup Veľkosť Stiahnuté Typ Licence Front-side diamond deposition on the GaN membranes.pdf Neprístupný/archív 718.5 KB 1 Vydavateľská verzia článok
Názov Direct deposition of CVD diamond layers on the top of GaN membranes Autor Izsák Tibor SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Spoluautori Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Držík Milan Kasemann S. Zehetner J. Vojs M. Zaťko Bohumír 1973 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Potocký Štěpán Kromka A. Zdroj.dok. Proceedings. Vol. 56, 1 (2020), no. 35 Kategória AFC - Publikované príspevky na zahraničných vedeckých konferenciách Rok vykazovania 2020 Názov súboru Prístup Veľkosť Stiahnuté Typ Licence Direct Deposition of CVD Diamond Layers on Top of GaN Membranes.pdf Prístupný 383.8 KB 0 Vydavateľská verzia článok
Názov Fabrication of diamond membranes by femtosecond laser ablation for MEMS sensor applications Autor Zehetner J. Spoluautori Kromka A. Izsák Tibor SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Gajdošová L. Kasemann S. Zdroj.dok. Proceedings. Vol. 56, Iss. 1 (2020), p. 13. Kategória AFC - Publikované príspevky na zahraničných vedeckých konferenciách Rok vykazovania 2020 URL URL link Názov súboru Prístup Veľkosť Stiahnuté Typ Licence Fabrication of diamond membranes by femtosecond laser ablation for MEMS sensor applications.pdf Prístupný 489.6 KB 2 Vydavateľská verzia článok
Názov High temperature operation of the MEMS piezoelectric pressure sensor based on AlGaN/GaN heterostructure Autor Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Spoluautori Dzuba Jaroslav 1987 Držík Milan Kutiš V. Kasemann S. Zehetner J. Zdroj.dok. . P. 33-36 Proceedings of the International Conference on Advances in Electronic and Photonic Technologies : ADEPT 2020. - Slovakia : University of Zilina in EDIS-Publishing Centre of UZ, 2020 / Kováč, jr. J. ; Chymo F. ; Feiler M. ; Jandura D. ; International Conference on Advances in Electronic and Photonic Technologies (ADPET 2020) Kategória AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Rok vykazovania 2020 Názov súboru Prístup Veľkosť Stiahnuté Typ Licence High temperature operation of the MEMS piezoelectric pressure sensor based on AlGaN.pdf Prístupný 817.7 KB 0 Vydavateľská verzia článok
Názov Optimization of diamond growth on structured, soft and brittle substrates Autor Babchenko Oleg 1983 Spoluautori Izsák Tibor SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Varga Marian SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Aubrechtová Dragounová K. Potocký Štěpán Stehlík S. Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Gajdošová L. Kasemann S. Zehetner J. Kromka A. Zdroj.dok. ASDAM 2020 : 13th International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems. P. 46-50. - : IEEE, 2020 / Izsák Tibor ; Vanko Gabriel 1981 Kategória ADMB - Vedecké práce v zahraničných neimpaktovaných časopisoch registrovaných vo WOS Core Collection alebo SCOPUS Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2020 DOI 10.1109/ASDAM50306.2020.9393868 Názov súboru Prístup Veľkosť Stiahnuté Typ Licence Optimization of diamond growth on structured, soft and brittle substrates.pdf Neprístupný/archív 1 MB 1 Vydavateľská verzia článok