Výsledky vyhľadávania
Názov Introduction to microlithography : theory, materials, and processing Ďalší autori Thompson L.F. (Vedecký redaktor) Willson C.G. (Vedecký redaktor) Bowden M.J. (Vedecký redaktor) Vyd.údaje Washington : American Chemical Society , 1983. - 363 s. Edícia ACS Symposium Series Počet ex. 1, z toho voľných 0, prezenčne 1 Druh dok. zborníky 
kniha