Výsledky vyhľadávania
Názov Study of self-masking nanostructuring of boron doped diamond films by RF plasma etching Autor Marton Marián Spoluautori Ritomský Mário 1993- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Michniak P. Behúl Miroslav Řeháček V. Redhammer R. Vincze A. Papula Martin Vojs M. Korp. 17th Joint Vacuum Conference. JVC : Olomouc, Czech Republic : September 10-14, 2018 Zdroj.dok. Vacuum. Vol. 170 (2019), art. no. 108954 Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2020 DOI 10.1016/j.vacuum.2019.108954 Názov súboru Prístup Veľkosť Stiahnuté Typ Licence Study of self-masking nanostructuring of boron doped diamond films by RF plasma etching.pdf Prístupný 5.2 MB 2 Vydavateľská verzia Názov Effect of mask material on the side walls angle of boron doped diamond patterns etched in various types of plasma Autor Marton Marián Spoluautori Ritomský Mário 1993- Řeháček V. Michniak P. Behúl Miroslav Redhammer R. Vojs M. Akcia MME 2018. 29th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop : 26-29 August 2018 : Smolenice, Slovakia Zdroj.dok. MME 2018 : 29th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop : Booklet with full papers. P. 150-155. - Bratislava : Slovak University of Technology, Bratislava, 2018 / Hotový I. ; Mikolášek M. ; Predanocy Martin 1984- ; MME 2018 29th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop Kategória AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Rok vykazovania 2018 Názov Analysis of carbon nanowals prepared by hot filament chemical vapour deposition Autor Michniak P. Spoluautori Marton M. Behú M. Redhammer R. Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Zdroj.dok. NANOCON 2015 : 7th International Conference on Nanomaterials - Research and Application; Brno October 2015. P. 143-148. - : TANGER Ltd., 2015 Kategória ADMB - Vedecké práce v zahraničných neimpaktovaných časopisoch registrovaných vo WOS Core Collection alebo SCOPUS Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2016