Výsledky vyhľadávania
Názov Micromachined atomic force microscopy sensor with integrated piezoresistive, sensor and thermal bimorph actuator for high-speed tapping-mode atomic force microscopy phase-imaging in higher eigenmodes Autor Pedrak R. Spoluautori Ivanov T. Ivanova K. Gotszalk T. Abedinov N. Rangelow I.W. Edinger K. Tomerov E. Schenkel T. Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. Journal of Vacuum Science and Technology B. Vol. 21, no. 6 (2013), p. 3102-3107, Microelectronics and Nanometer Structures Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2003 DOI 10.1116/1.1614252 
článok
Názov MEMS pressure sensor fabricated by advanced bulk micromachining techniques Autor Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Spoluautori Hudek Peter 1953- Zehetner J. Dzuba Jaroslav 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Choleva P. Vallo Martin SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Rýger Ivan 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Zdroj.dok. Proceedings of the SPIE. Vol. 8763, (2013), p. 8763-101 Kategória ADMB - Vedecké práce v zahraničných neimpaktovaných časopisoch registrovaných vo WOS Core Collection alebo SCOPUS Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2013 DOI 10.1117/12.2017499 článok
Názov Bulk micromachining of SiC substrate for MEMS sensor applications Autor Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Spoluautori Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zehetner J. Dzuba Jaroslav 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Choleva P. Kutiš V. Vallo Martin SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Rýger Ivan 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Zdroj.dok. Microelectronic Engineering. Vol. 110, (2013), p. 260-264 Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2013 DOI 10.1016/j.mee.2013.01.046 článok
Názov Micromachined membrane structures for pressure sensors based on AlGaN/GaN circular HEMT sensing device Autor Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Spoluautori Hudek Peter 1953- Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Dzuba Jaroslav 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Kutiš V. Srnánek R. Choleva P. Vallo Martin SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Držík Milan Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. Microelectronic Engineering : an international journal of semiconductor manufacturing technology. Vol. 98, (2012), p. 578-581 Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2012 DOI 10.1016/j.mee.2012.06.014 článok
Názov Fabrication process development for a high sensitive electrochemical IDA sensor Autor Partel S. Spoluautori Mayer M. Hudek Peter 1953- Dinçer C. Kieninger J. Urban G.A. Motzek K. Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. Microelectronic Engineering : an international journal of semiconductor manufacturing technology. Vol. 97 (2012), p. 235-240 Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2012 DOI 10.1016/j.mee.2012.03.028 článok
Názov Laser ablation: A supporting technique to micromachining of SiC Autor Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Spoluautori Zehetner J. Choleva P. Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. ASDAM 2012 : conference proceedings. P. 259-262. - Piscataway : IEEE, 2012 / Haščík Štefan 1956 ; Osvald Jozef 1953 ; International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems ASDAM 2012 Kategória ADMB - Vedecké práce v zahraničných neimpaktovaných časopisoch registrovaných vo WOS Core Collection alebo SCOPUS Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2012 DOI 10.1109/ASDAM.2012.6418518 článok
Názov Alignment marks for the EBDW lithography Autor Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Partel S. Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. / Vajda J. ; Weiss M. APCOM 2010 : proceedings of the 16th International Conference on Applied Physics of Condensed matter. P. 252-255. - Bratislava : Slovenská technická univerzita v Bratislave, 2010 ; International Conference on Applied Physics of Condensed Matter APCOM 2010 Kategória AED - Vedecké práce v domácich recenzovaných vedeckých zborníkoch (aj konferenčných), monografiách Kategória (od 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Typ výstupu príspevok Rok vykazovania 2010 článok
Názov Material optimization of the alignment marks for the EBDW lithography Autor Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Partel S. Hudek Peter 1953- Zdroj.dok. ASDAM 2010 : proceedings of the 8th International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems. P. 85-88. - Piscataway : IEEE, 2010 / Breza J. ; Donoval D. ; Vavrinský E. Kategória AEC - Vedecké práce v zahraničných recenzovaných vedeckých zborníkoch (aj konferenčných), monografiách Kategória (od 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Typ výstupu príspevok Rok vykazovania 2010 DOI 10.1109/ASDAM.2010.5666341 článok
Názov Preparation method of large and complex defect-free chips directly-written by ZBA 21 e-beam tool Autor Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Partel S. Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. APCOM 2009 : proceedings of the 15th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter, held in KRÚ Bystrá, Liptovský Ján, Slovak Republic, June 24-26, 2009. P. 69-72. - Žilina : University of Žilina, 2009 / Pudiš D. ; Harmatha L. ; Müllerová J. ; Jamnický I. Kategória AFDB - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Rok vykazovania 2009 článok
Názov New progressive method suitable for the exposure optimization of large and complex defect-free chips direct written by ZBA 21 e-beam tool Autor Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Partel Stefan Hudek Peter 1953- Zdroj.dok. / Haščík Štefan 1956 ; Osvald Jozef 1953 ASDAM 2008 : conference proceedings. P. 199-202. - Piscataway, NJ : Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2008 ; International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems Kategória AEC - Vedecké práce v zahraničných recenzovaných vedeckých zborníkoch (aj konferenčných), monografiách Kategória (od 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Typ výstupu príspevok Rok vykazovania 2008 DOI 10.1109/ASDAM.2008.4743316 článok