Výsledky vyhľadávania
Názov Evaluation and fabrication of AFM array for ESA-Midas/Rosetta space mission Autor Barth W. Spoluautori Debski T. Abedinov N. Ivanov T.Z. Heerlein H. Volland B. Gotszalk T. Rangelow I.W. Torkar K. Fritzenwallner K. Grabiec P. Studzinska K. Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. Microelectronic Engineering. Vol. 57-58 (2001), p. 825-831 Kategória ADC Rok vykazovania 2001 
článok
Názov The application of secondary effects in high aspect ratio dry etching for the fabrication of MEMS Autor Volland B. Spoluautori Heerlein H. Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Rangelow I.W. Zdroj.dok. Microelectronic Engineering. Vol. 57-58 (2001), p. 641-650 Kategória ADC Rok vykazovania 2001 článok
Názov Fabrication of open stencil masks with asymmetric void ratio for the ion projection lithography space charge experiment Autor Volland B. Spoluautori Shi F. Heerlein H. Rangelow I.W. Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Cekan E. Vonach H. Loeschner Hans Horner C. Stengl G. Buschbeck H. Zeininger M. Bleeker A. Benschop J. Zdroj.dok. Journal of Vacuum Science and Technology B. Vol. 18, no. 6 (2000), p. 3202-3206 Kategória ADC Rok vykazovania 2000 DOI 10.1116/1.1319688 článok
Názov Dry etching with gas chopping without rippled sidewalls Autor Volland B. Spoluautori Shi F. Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Heerlein H. Rangelow I.W. Zdroj.dok. Journal of Vacuum Science and Technology B. Vol. 17, no. 6 (1999), p. 2768-2771 Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Rok vykazovania 1999 článok
Názov Experimental results of the stochastic coulomb interaction in ion projection lithography. Autor Jager W.H. Spoluautori Derksen G. Mertens B. Cekan E. Lammer G. Vonach H. Buschbeck H. Zeininger M. Horner C. Loeschner Hans Stengl G. Bleeker A. Benschop J. Shi F. Volland B. Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Heerlein H. Rangelow I.W. Kaesmaier R. Zdroj.dok. Journal of Vacuum Science Technology B. Vol. 17, no. 6 (1999), p. 3099-3106 Kategória ADC Rok vykazovania 1999 článok