Výsledky vyhľadávania
Názov Effect of substrate heating and ion beam polishing on the interface quality in Mo/Si multilayers- X-ray comparative study Autor Anopchenko A.S. SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Spoluautori Jergel Matej 1954- SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Majková Eva 1950 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Luby Štefan 1941 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Holý V. Aschentrup A. Kolina I. Cheon Lim Y. Haindl G. Kleineberg U. Heinzmann U. Zdroj.dok. Physica B : condensed matter. Vol. 305, no. 1 (2001), p. 14-20 Kategória ADC Rok vykazovania 2001 
článok
Názov Reactive ion etching with end point detection of microstructured Mo/Si multilayers by optical emission spectroscopy Autor Dreeskornfeld L. Spoluautori Segler R. Haindl G. Wehmeyer O. Rahn S. Majková Eva 1950 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Kleineberg U. Heinzmann U. Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Zdroj.dok. Microelectronic Engineering. Vol. 54, no. 3-4 (2000), p. 303-314 Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2000 DOI 10.1016/S0167-9317(99)00449-9 článok
Názov Metal oxide/silicon oxide multilayer with smooth interfaces produced by in situ controlled plasma-enhanced MOCVD Autor Hamelmann F. Spoluautori Haindl G. Schmalhorst J. Aschentrup A. Majková Eva 1950 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Kleineberg U. Heinzmann U. Klipp A. Jutzi P. Anopchenko A.S. SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Jergel Matej 1954- SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Luby Štefan 1941 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Zdroj.dok. Thin Solid Films. Vol. 358 (2000), p. 90-93 Kategória ADC Rok vykazovania 2000 DOI 10.1016/S0040-6090(99)00695-1 článok
Názov Field emission cathode array with self aligned gate electrode fabricated by silicon micromachining Autor Barth W. Spoluautori Debski T. Shi F. Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Biehl S. Iwert P. Grabiec P.B. Studzinska K. Mitura S. Bekh I. Lushkin A. Il`chenko L. Il`chenko V. Haindl G. Rangelow I.W. Zdroj.dok. Journal of Vacuum Science and Technology B. Vol. 18, no. 6 (2000), p. 3544-3548 Kategória ADC Rok vykazovania 2000 DOI 10.1116/1.1324648 článok