Výsledky vyhľadávania
Názov Overenie postupov pri priamej elektrónovej litografii s využitím justážnych značiek na čipe Autor Písečný Pavol SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Vyd.údaje Bratislava : Ústav informatiky SAV , 2007 Kategória AGI - Správy o vyriešených vedeckovýskumných úlohách Rok vykazovania 2007 Projekt Technická správa ÚI SAV, TR-2007-25-01 - VEGA 2/6184/26