Výsledky vyhľadávania
Názov Comparison of Al and Cu masks used for patterning boron-doped diamonds in oxygen plasma Autor Marton Marián Spoluautori Ritomský Mário 1993- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Řeháček V. Michniak P. Behúl Miroslav Novák Patrik Vančo L. Vojs M. Zdroj.dok. Journal of Micromechanics and Microengineering. Vol. 29, no. 12 (2019), art. no. 124004, 9 p. Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2020 DOI 10.1088/1361-6439/ab4d6f Názov súboru Prístup Veľkosť Stiahnuté Typ Licence Comparison of Al and Cu masks used for patterning boron-doped diamonds in oxygen plasma.pdf Prístupný 3 MB 0 Vydavateľská verzia Názov Study of self-masking nanostructuring of boron doped diamond films by RF plasma etching Autor Marton Marián Spoluautori Ritomský Mário 1993- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Michniak P. Behúl Miroslav Řeháček V. Redhammer R. Vincze A. Papula Martin Vojs M. Korp. 17th Joint Vacuum Conference. JVC : Olomouc, Czech Republic : September 10-14, 2018 Zdroj.dok. Vacuum. Vol. 170 (2019), art. no. 108954 Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2020 DOI 10.1016/j.vacuum.2019.108954 Názov súboru Prístup Veľkosť Stiahnuté Typ Licence Study of self-masking nanostructuring of boron doped diamond films by RF plasma etching.pdf Prístupný 5.2 MB 2 Vydavateľská verzia Názov Effect of mask material on the side walls angle of boron doped diamond patterns etched in various types of plasma Autor Marton Marián Spoluautori Ritomský Mário 1993- Řeháček V. Michniak P. Behúl Miroslav Redhammer R. Vojs M. Akcia MME 2018. 29th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop : 26-29 August 2018 : Smolenice, Slovakia Zdroj.dok. MME 2018 : 29th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop : Booklet with full papers. P. 150-155. - Bratislava : Slovak University of Technology, Bratislava, 2018 / Hotový I. ; Mikolášek M. ; Predanocy Martin 1984- ; MME 2018 29th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop Kategória AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Rok vykazovania 2018