Výsledky vyhľadávania
Názov Recent challenges in micromachining of wide-bandgap materials and fabrication of MEMS for harsh environments Autor Zehetner J. Spoluautori Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Dohnal F. Izsák Tibor SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Držík Milan Kromka A. Zdroj.dok. Proceedings of ADEPT 2022 : 10th International Conference on Advances in Electronic and Photonic Technologies, Tatranská Lomnica, High Tatras, Slovakia. P. 7-12. - Žilina : University of Zilina in EDIS-Publishing Centre of UZ, 2022 / Feiler M. ; Ziman M. ; Kováčová S. ; Kováč Jaroslav Jr. Kategória AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Kategória (od 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Typ výstupu príspevok z podujatia Rok vykazovania 2022 Názov súboru Prístup Veľkosť Stiahnuté Typ Licence Recent challenges in micromachining of wide-bandgap materials and fabrication of MEMS for harsh environments.pdf Prístupný 659.7 KB 3 Vydavateľská verzia 
článok
Názov Diamond cantilevers for MEMS sensor applications fabricated by laser abiation and optimized etching techniques Autor Zehetner J. Spoluautori Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Izsák Tibor SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Kováčová Eva 1966 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Držík Milan Dohnal F. Kromka A. Zdroj.dok. ASDAM 2022 : Conference Proceedings. P. 195-198. - : IEEE, 2022 / Marek Juraj ; Donoval D. ; Vavrinský E. ; International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems Kategória AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Kategória (od 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Typ výstupu príspevok z podujatia Rok vykazovania 2022 článok