Výsledky vyhľadávania
Názov Electron beam energy deposition and resist profile modeling during electron beam lithography process Autor Cvetkov Kristian Spoluautori Gerasimov Vladislav Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Koleva Elena Vutova Katia Asparuhova Boriana Akcia International scientific conference High technologies. business. society. HTBS 2018 : 12.-15.3.2018 : Borovets, Bulgaria Zdroj.dok. International scientific conference High technologies. business. Society : Proceedings, Volume I "High technologies". Vol. II, no. 1 (2018), p. 124-127. - Sofia, Bulgaria : Scientific Technical Union of Mechanical Engineering Industry 4.0 Kategória AFC - Publikované príspevky na zahraničných vedeckých konferenciách Rok vykazovania 2018 
článok