Výsledky vyhľadávania
Názov Study of electron beam resists: negative tone HSQ and positive tone SML300 Autor Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Koleva Elena Vutova Katia Mladenov Georgy Akcia International Conference on Electron Beam Technologies ( 11th : June 8-12, 2014 : Varna ) Zdroj.dok. Elektrotechnika i elektronika E+E : Eleventh International Conference on Electron Beam Technologies. Vol. 49 (2014) no. 5-6 Kategória ADEB - Vedecké práce v ostatných zahraničných časopisoch neimpaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2014 
článok